[实用新型]一种改进的法拉第杯结构

说明书

本实用新型涉及法拉第杯技术领域，尤其涉及一种改进的法拉第杯结构,解决现有技术中存在的不易更换的缺点，包括外杯体、内杯体和紧固件，外杯体的外侧一体设置有杯体外连接部，外杯体的内侧一体设置有杯体内连接部，杯体内连接部的一侧设置有固定底，内杯体设置在杯体内连接部的另一侧，固定底的一侧一体设置有安装环，且安装环穿过杯体内连接部，内杯体远离开口的一端一体设置有安装凸部，内杯体的内部设置有中间厚边缘薄的弧底，本实用新型将法拉第杯的一体式改进为可拆分式，使得法拉第杯可部分拆分进行更换，拆分安装方便，而且内杯体经受离子束侵袭最多的部位加厚，延长了更换周期。

技术领域

本实用新型涉及法拉第杯技术领域，尤其涉及一种改进的法拉第杯结构。

背景技术

离子注入是一种用于在如半导体晶片等工件中注入能改变导电率的杂质的标准技术，离子注入机中，由离子源产生离子束并由萃取电极自离子源中萃取离子束，当离子束撞击工件时，离子束中的离子会穿透工件表面而停止在工件表面下方，从而于工件中形成具有所需导电率的区域，在离子注入机的运作中，需要测量注入于工件中的累加离子剂量，法拉第杯是一种金属制设计成杯状，用来测量带电粒子入射强度的一种真空侦测器，与质谱仪的其他部分保持一定电位差以便捕获离子，当离子经过一个或多个抑制栅极进入杯中时，将产生电流，经转换成电压后进行放大记录。

然而，目前的法拉第杯多由石墨制成，且为一体化结构，当法拉第杯受到离子束的侵蚀而受损时，必须将整个法拉第杯进行更换，更换繁琐且不易安装。

发明内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的不易更换的缺点，而提出的一种改进的法拉第杯结构。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种改进的法拉第杯结构，包括外杯体、内杯体和紧固件，所述外杯体的外侧一体设置有杯体外连接部，所述外杯体的内侧一体设置有杯体内连接部，所述杯体内连接部的一侧设置有固定底，所述内杯体设置在杯体内连接部的另一侧，所述固定底的一侧一体设置有安装环，且安装环穿过杯体内连接部，所述内杯体远离开口的一端一体设置有安装凸部，且安装凸部和安装环螺纹连接，所述内杯体的内部设置有中间厚边缘薄的弧底，所述杯体内连接部远离内杯体的一侧设置有胶圈，且胶圈的一侧设置有加固环，所述加固环、胶圈、固定底和杯体内连接部通过紧固件连接。

优选的，所述安装环的外壁和杯体内连接部的内壁相接触。

优选的，所述安装环的内部设置有内螺纹，所述安装凸部的外侧设置有外螺纹，且安装环上部的内螺纹和安装凸部上部的外螺纹相匹配。

优选的，所述内杯体的外壁和外杯体的内壁接触，且内杯体的侧壁呈渐薄型。

优选的，所述弧底的纵截面呈椭圆状结构，且弧底纵截面的长轴和短轴之比为3：1～5：3。

优选的，所述紧固件为螺丝和销钉中的一种。

本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型将法拉第杯的一体式改进为可拆分式，在石墨质的内杯体经离子束侵袭而受损时，可将内杯体拆下进行更换，拆分以及安装方便。

2、本实用新型将内杯体的底部设置有中间厚边缘薄的弧底，由于内杯体经受离子束侵袭最多的部位为杯底的中间位置，将杯底的中间部位加厚有利于延长法拉第杯的更换周期。

综上所述，对比于现有技术，本实用新型将法拉第杯的一体式改进为可拆分式，使得法拉第杯可部分拆分进行更换，拆分安装方便，而且内杯体经受离子束侵袭最多的部位加厚，延长了更换周期。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种改进的法拉第杯结构的主视结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种改进的法拉第杯结构的内杯体侧视结构示意图。