[实用新型]紧凑型刻蚀上料机有效
申请号: | 201822143510.0 | 申请日: | 2018-12-19 |
公开(公告)号: | CN209544296U | 公开(公告)日: | 2019-10-25 |
发明(设计)人: | 李长英;江玉新 | 申请(专利权)人: | 江阴方艾机器人有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/67 |
代理公司: | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 | 代理人: | 王新爱 |
地址: | 214443 江苏省无锡市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 支撑台架 带轮 支撑轨道 上料机 伸缩板 刻蚀 本实用新型 转向轮 滑轮 滑动设置 平行设置 伸缩皮带 伸缩气缸 活塞杆 皮带组 皮带 缠绕 停工 | ||
本实用新型一种紧凑型刻蚀上料机,伸缩皮带组件(6)包含有支撑台架(6.1),所述支撑台架(6.1)的顶部两侧平行设置有支撑轨道(6.1.1),两根支撑轨道(6.1.1)的端部之间滑动设置有伸缩板(6.2),一安装于支撑台架(6.1)上的伸缩气缸(6.2.1)的活塞杆与伸缩板(6.2)相连接,所述支撑轨道(6.1.1)的两端分别设置有带轮一(6.4)和带轮二(6.5),所述伸缩板(6.2)的底部设置有一滑轮(6.3),所述支撑台架(6.1)上固定有一转向轮(6.6),皮带(6.7)缠绕在带轮一(6.4)、带轮二(6.5)、滑轮(6.3)和转向轮(6.6)之间。本实用新型一种紧凑型刻蚀上料机,结构设计巧妙且无需停工即可对皮带组长度进行调整。
技术领域
本实用新型涉及一种紧凑型刻蚀上料机,属于光伏配套设备技术领域。
背景技术
目前,刻蚀上料机是在光伏刻蚀工序中对硅片进行上料输送的自动化设备,由于需要面对不同规格的硅片和花篮,因此需要配备不同长度的皮带组以适应不同的需求;而从生产成本和车间布局的考虑,显然不可能同时配备多种规格的皮带组以供产品切换,为此常规的做法是临时停工后对产线皮带进行手动调整至合适位置,然后重启产线,这样一来不但整个上料机结构繁琐,需要采用各种快速拆装件进行装配,以便进行拆卸和调整;而且整个切换过程需要停工进行,极大的延误了生产效率,不利于提高企业的市场竞争力;同时,常规上料机在上料过程中容易在加工面上遗留皮带的痕迹,从而影响后续太阳能电池板的光电转换效率。
发明内容
本实用新型的目的在于克服上述不足,提供一种结构设计巧妙且无需停工即可对皮带组长度进行调整的紧凑型刻蚀上料机。
本实用新型的目的是这样实现的:
一种紧凑型刻蚀上料机,所述上料机包含有机架,所述机架上设置有传输带,所述传输带旁设置有伸缩皮带组件,所述伸缩皮带组件包含有支撑台架,所述支撑台架的顶部两侧平行设置有支撑轨道,两根支撑轨道的端部之间滑动设置有伸缩板,一安装于支撑台架上的伸缩气缸的活塞杆与伸缩板相连接,且伸缩气缸的活塞杆的伸缩方向与伸缩板沿支撑轨道滑动的方向相一致;所述支撑轨道的两端分别设置有带轮一和带轮二,所述伸缩板的底部设置有一滑轮,所述支撑台架上固定有一转向轮,皮带缠绕在带轮一、带轮二、滑轮和转向轮之间。
本实用新型一种紧凑型刻蚀上料机,所述传输带包含有传输带一和传输带二,所述传输带一的传输方向和传输带二的传输方向相互垂直设置;且传输带一旁设置有翻转盘,传输带二的传输方向与伸缩皮带组件的传输方向相一致;所述翻转盘的盘面上沿其径向均匀分布有多个插槽,翻转盘的中心转轴由电机驱动旋转,且翻转盘的中心高度与传输带一的高度相一致。
本实用新型一种紧凑型刻蚀上料机,所述传输带二设置于升降台上,所述升降台位于传输带一的下方,所述升降台的顶面平行设置有多个供传输带一嵌入的凹槽,所述升降台由升降机构驱动进行升降,当升降台上升时,传输带一嵌入凹槽内,传输带二高于传输带一,当升降台下降时,传输带一脱离凹槽,传输带二低于传输带一。
本实用新型一种紧凑型刻蚀上料机,所述述升降台的侧壁上部和下部分别设置有上排皮带轮和下排皮带轮,所述传输带二绕置于上排皮带轮和下排皮带轮之间。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
本实用新型采用伸缩皮带组件后可方便的随时对皮带长度进行调整;而且增加翻转盘后,对硅片翻转后进行输送,从而皮带接触硅片的背面,硅片的正面不会因痕迹而影响产品最终的光电转换效率。
附图说明
图1为本实用新型紧凑型刻蚀上料机的结构示意图。
图2为本实用新型紧凑型刻蚀上料机的另一视角的结构示意图。
图3为本实用新型紧凑型刻蚀上料机的图1的局部放大图。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造