[实用新型]一种在线添加高熔点金属源的装置

权利要求书

1.一种在线添加高熔点金属源的装置，其特征在于，包括：

第一承载结构(4)，内装有待挥发的高熔点金属源，设置于处于真空环境的第一腔室(1)中；

第二承载结构(3)，通过连通管(5)与所述第一承载结构(4)连通，用于向所述第一承载结构(4)中在线添加液态的所述高熔点金属源，且设置于与所述第一腔室(1)隔绝的第二腔室(2)中；所述连通管(5)具有适于存储所述高熔点金属源的凹陷区；

线圈(8)，绕设于所述第二承载结构(3)和所述连通管(5)周缘，所述线圈(8)具有在通入交变电流后加热所述第二承载结构(3)内的所述高熔点金属源，并将所述高熔点金属源液化后在自身重力作用和真空状态下自所述第二承载结构(3)流入所述第一承载结构(4)中的通电状态，和在所述线圈(8)断电后液态的所述高熔点金属源固化在所述凹陷区以封堵所述连通管(5)的断电状态，所述第二承载结构(3)向所述第一承载结构(4)中在线添加所述高熔点金属源时，所述第二承载结构(3)的液位高于所述连通管(5)的最高点设置。

2.根据权利要求1所述的在线添加高熔点金属源的装置，其特征在于，所述连通管(5)包括位于所述第一腔室中的第一部分以及位于所述第二腔室中的第二部分，所述线圈(8)绕设于所述连通管(5)的第二部分。

3.根据权利要求2所述的在线添加高熔点金属源的装置，其特征在于，所述第二承载结构(3)为坩埚，所述线圈(8)沿周向绕设于所述第二承载结构(3)的外壁上，并将所述第二承载结构(3)的周缘覆盖。

4.根据权利要求1所述的在线添加高熔点金属源的装置，其特征在于，所述连通管(5)的两端分别与所述第一承载结构(4)的顶端以及所述第二承载结构(3)的底端连通设置。

5.根据权利要求4所述的在线添加高熔点金属源的装置，其特征在于，所述连通管(5)为水平设置的S型，所述连通管(5)的最低点靠近所述第二承载结构(3)设置，所述连通管(5)的最高点靠近所述第一承载结构(4)设置。

6.根据权利要求5所述的在线添加高熔点金属源的装置，其特征在于，所述第二承载结构(3)的底端高于所述第一承载结构(4)的顶端设置，且所述连通管(5)的最高点高于所述第二承载结构(3)的底端设置。

7.根据权利要求1所述的在线添加高熔点金属源的装置，其特征在于，所述第二腔室(2)的外壁与所述第一腔室(1)的外壁连接。

8.根据权利要求1所述的在线添加高熔点金属源的装置，其特征在于，所述第二腔室(2)的内壁分布有水冷管路。

9.根据权利要求1所述的在线添加高熔点金属源的装置，其特征在于，所述第二腔室(2)上与所述第二承载结构(3)的开口相对应位置处设置有填料口以及与所述填料口适配的盖体(7)，所述盖体(7)内壁上设置有水冷管路。

10.根据权利要求1－9任一所述的在线添加高熔点金属源的装置，其特征在于，所述第二腔室(2)上设置有用于与真空系统连接的真空接口(6)。