[实用新型]一种真空镀膜室

说明书

本实用新型公开了一种真空镀膜室，包括基座、安装架、后镀膜仓、转轴、前镀膜仓、前密封架、密封把手、后密封架、辅助真空泵、密封胶条，基座垂直焊接了安装架，安装架使用螺栓固定安装了后密封架，后密封架后端密封焊接有后镀膜仓，后密封架上端位置安装有辅助真空泵，后密封架焊接的转轴与前密封架连接，前密封架后端密封焊接了前镀膜仓，后镀膜仓和前镀膜仓使用密封把手密闭安装，后密封架前端面胶结有密封胶条，一种真空镀膜室，本装置设计适用于镀膜作业，密封胶条具有很好的密闭作用，前后密封架关闭后，启动底部加热装置，室内温度升高，辅助真空泵将前后密封架之间的空气抽走，提高了镀膜室真空效率，前后密封架之间空气迅速抽走。

技术领域

本实用新型涉及镀膜用品领域，特别是一种真空镀膜室。

背景技术

现阶段，真空镀膜就是置待镀材料和被镀基板于真空室内，采用一定方法加热待镀材料，使之蒸发或升华，并飞行溅射到被镀基板表面凝聚成膜的工艺。镀膜工艺繁琐复杂需要较好的真空镀膜环境。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种真空镀膜室。为实现上述目的本实用新型采用以下技术方案：

一种真空镀膜室，包括基座、安装架、后镀膜仓、转轴、前镀膜仓、前密封架、密封把手、后密封架、辅助真空泵、密封胶条，基座垂直焊接了安装架，安装架使用螺栓固定安装了后密封架，后密封架后端密封焊接有后镀膜仓，后密封架上端位置安装有辅助真空泵，后密封架焊接的转轴与前密封架连接，前密封架后端密封焊接了前镀膜仓，后镀膜仓和前镀膜仓使用密封把手密闭安装，后密封架前端面胶结有密封胶条。

优选的，所述前镀膜仓前端面安装有观测窗。

优选的，所述后密封架上侧边安装了与辅助真空泵连通的抽气泵导管，后密封架下侧边安装有底部加热装置。

优选的，所述抽气泵导管由主导管、安装架体和侧导管组成，

安装架体上端面中轴线位置安装了主导管，主导管与侧导管连通。

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：一种真空镀膜室，本装置设计适用于镀膜作业，密封胶条具有很好的密闭作用，前后密封架关闭后，启动底部加热装置，室内温度升高，辅助真空泵将前后密封架之间的空气抽走，提高了镀膜室真空效率，前后密封架之间空气迅速抽走。

附图说明

图1为本实用新型真空镀膜室的结构示意图。

图2为本实用新型真空镀膜室的安装结构示意图。

图3为本实用新型辅助真空泵的安装结构示意图。

图4为本实用新型抽气泵导管的结构示意图。

图中：1、基座，2、安装架，3、后镀膜仓，4、转轴，5、前镀膜仓，6、前密封架，7、密封把手，8、后密封架，9、辅助真空泵，10、密封胶条，11、观测窗，12、抽气泵导管，13、底部加热装置，14、主导管，15、安装架体，16、侧导管。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细阐述。

如图1、图2、图3和图4所示，一种真空镀膜室，包括基座1、安装架2、后镀膜仓3、转轴4、前镀膜仓5、前密封架6、密封把手7、后密封架8、辅助真空泵9、密封胶条10，基座1垂直焊接了安装架2，安装架2使用螺栓固定安装了后密封架8，后密封架8后端密封焊接有后镀膜仓3，后密封架8上端位置安装有辅助真空泵9，后密封架8焊接的转轴4与前密封架6连接，前密封架6后端密封焊接了前镀膜仓5，后镀膜仓3和前镀膜仓5使用密封把手7密闭安装，后密封架8前端面胶结有密封胶条10。

所述前镀膜仓5前端面安装有观测窗11。