[实用新型]一种真空镀膜室有效
| 申请号： | 201822044847.6 | 申请日： | 2018-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN209352969U | 公开（公告）日： | 2019-09-06 |
| 发明（设计）人： | 龙志光 | 申请（专利权）人： | 深圳市超为龙科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518100 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 密封架 镀膜仓 辅助真空泵 真空镀膜室 密封胶条 安装架 前密封 焊接 后端密封 转轴 密封 把手 底部加热装置 本实用新型 垂直焊接 镀膜作业 螺栓固定 密闭安装 密闭作用 上端位置 真空效率 装置设计 镀膜室 空气抽 前端面 胶结 室内 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空镀膜室，其特征在于，包括基座（1）、安装架（2）、后镀膜仓（3）、转轴（4）、前镀膜仓（5）、前密封架（6）、密封把手（7）、后密封架（8）、辅助真空泵（9）、密封胶条（10），基座（1）垂直焊接了安装架（2），安装架（2）使用螺栓固定安装了后密封架（8），后密封架（8）后端密封焊接有后镀膜仓（3），后密封架（8）上端位置安装有辅助真空泵（9），后密封架（8）焊接的转轴（4）与前密封架（6）连接，前密封架（6）后端密封焊接了前镀膜仓（5），后镀膜仓（3）和前镀膜仓（5）使用密封把手（7）密闭安装，后密封架（8）前端面胶结有密封胶条（10）。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜室，其特征在于，所述前镀膜仓（5）前端面安装有观测窗（11）。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜室，其特征在于，所述后密封架（8）上侧边安装了与辅助真空泵（9）连通的抽气泵导管（12），后密封架（8）下侧边安装有底部加热装置（13）。
4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜室，其特征在于，所述抽气泵导管（12）由主导管（14）、安装架体（15）和侧导管（16）组成，
安装架体（15）上端面中轴线位置安装了主导管（14），主导管（14）与侧导管（16）连通。
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