[实用新型]清洗装置及其供液设备有效

专利信息
申请号: 201822035668.6 申请日: 2018-12-05
公开(公告)号: CN209626183U 公开(公告)日: 2019-11-12
发明(设计)人: 赵凯;李春燕;王亮;杜立宁;刘海阳;张飞;朱延松 申请(专利权)人: 楚雄隆基硅材料有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 代理人: 孙伟峰
地址: 651200 云南*** 国省代码: 云南;53
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摘要:
搜索关键词: 供液设备 加热箱体 保温箱体 连通阀门 连通管道 保温箱 加热箱 受液 加热 出液管道 清洗装置 入液管道 液源 连通 本实用新型 第一加热器 清洗设备 设备连通 设备输送 生产效率 连通管 供液 暂存 截止 引入 流通
【权利要求书】:

1.一种供液设备,其特征在于,所述供液设备包括:

加热箱(1),包括加热箱体(11)、入液管道(12)和设置于所述加热箱体(11)内的第一加热器(13),所述入液管道(12)用于使所述加热箱体(11)和液源(100)连通;

保温箱(2),包括保温箱体(21)和出液管道(22),所述出液管道(22)用于使所述保温箱体(21)和受液设备(200)连通;

连通管道(3),连通所述加热箱体(11)和所述保温箱体(21);

连通阀门(31),设置于所述连通管道(3)上,所述连通阀门(31)打开或关闭,以使所述连通管道(3)流通或截止。

2.根据权利要求1所述的供液设备,其特征在于,所述加热箱(1)还包括设置于所述加热箱体(11)内的第一温度传感器(15),所述连通阀门(31)根据所述第一温度传感器(15)探测到的所述加热箱体(11)内的液体温度是否达到预设温度来打开或关闭。

3.根据权利要求1或2所述的供液设备,其特征在于,所述加热箱(1)还包括设置于所述加热箱体(11)内的第一低液位检测传感器(141)和第一高液位检测传感器(142),所述第一低液位检测传感器(141)于所述加热箱体(11)内所处的高度小于所述第一高液位检测传感器(142)于所述加热箱体(11)内所处的高度;所述供液设备还包括设置于所述入液管道(12)上的入液阀门(121),所述入液阀门(121)根据第一低液位检测传感器(141)或第一高液位检测传感器(142)检测到的所述加热箱体(11)内的液位来打开或关闭。

4.根据权利要求3所述的供液设备,其特征在于,所述连通阀门(31)根据第一低液位检测传感器(141)检测到的所述加热箱体(11)内的液位来打开或关闭。

5.根据权利要求1所述的供液设备,其特征在于,所述保温箱(2)还包括设置于所述保温箱体(21)内的第二加热器(23)。

6.根据权利要求5所述的供液设备,其特征在于,所述保温箱(2)还包括设置于所述保温箱体(21)内的第二温度传感器(25);

所述供液设备还包括:控制器,所述控制器用于根据所述第二温度传感器(25)探测到的所述保温箱体(21)内的液体温度低于预设温度时控制所述第二加热器(23)进行加热。

7.根据权利要求1或5或6所述的供液设备,其特征在于,所述保温箱(2)还包括设置于所述保温箱体(21)内的第二低液位检测传感器(241)和第二高液位检测传感器(242),所述第二低液位检测传感器(241)于所述保温箱体(21)内所处的高度小于所述第二高液位检测传感器(242)于所述保温箱体(21)内所处的高度;所述供液设备还包括设置于所述出液管道(22)上的出液阀门(221),所述出液阀门(221)根据第二低液位检测传感器(241)或第二高液位检测传感器(242)检测到的所述保温箱体(21)内的液位来打开或关闭。

8.根据权利要求7所述的供液设备,其特征在于,所述连通阀门(31)根据第二低液位检测传感器(241)或第二高液位检测传感器(242)检测到的所述保温箱体(21)内的液位来打开或关闭。

9.根据权利要求1所述的供液设备,其特征在于,所述加热箱体(11)和/或所述保温箱体(21)上设置有溢液口。

10.一种清洗装置,其特征在于,包括清洗设备和如权利要求1至9任一项所述的供液设备,所述清洗设备为通过所述出液管道(22)与所述供液设备连通的受液设备(200)。

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