[实用新型]一种基于摆动导杆的变温式探针测量装置

说明书

本实用新型公开了一种基于摆动导杆的变温式探针测量装置，其特征在于：所述变温四探针测量装置包括变温台，通过四个中间柱固定安装在变温箱上，并与所述变温箱电性连接，所述变温台上方设置有探针，所述探针固定安装在探针安装头上，所述探针安装头固定安装在转轴上，所述转轴插装在第一齿轮上，所述第一齿轮位于齿轮箱中，所述齿轮箱中还安装着第二齿轮，所述第二齿轮与所述第一齿轮相互啮合，所述第二齿轮又固定安装在第二电动机的电机轴上，所述第二电动机固定安装在固定板上，所述固定板固定安装在第三连杆，所述第三连杆通过转轴分别与第二连杆、所述变温台连接；本实用新型能控制温度，导杆能摆动，而且探针能360°旋转。

技术领域

本实用新型涉及一种变温四探针测量装置，具体涉及一种基于摆动导杆的变温式探针测量装置。

背景技术

数字式四探针测量装置是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的，专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成，测量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果。

数字式四探针测量装置用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。

四探针软件测试系统是一个运行在计算机上拥有友好测试界面的用户程序，通过此测试程序辅助使用户简便地进行各项测试及获得测试数据并对测试数据进行统计分析。

测试程序控制四探针测试仪进行测量并采集测试数据，把采集到的数据在计算机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在电脑中保存或者打印以备日后参考和查看，还可以把采集到的数据输出到Excel中，让用户对数据进行各种数据分析

数字式四探针测量装置采用了最新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。

但现有的数字式四探针测量装置，不能控制温度，导杆是固定的，不能摆动，而且探针不能360°旋转。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种基于摆动导杆的变温式探针测量装置，能控制温度，导杆能摆动，而且探针能360°旋转。

一种基于摆动导杆的变温式探针测量装置，其特征在于：所述变温四探针测量装置包括变温台，通过四个中间柱固定安装在变温箱上，并与所述变温箱电性连接，所述变温台上方设置有探针，所述探针固定安装在探针安装头上，所述探针安装头固定安装在转轴上，所述转轴插装在第一齿轮上，所述第一齿轮位于齿轮箱中，所述齿轮箱中还安装着第二齿轮，所述第二齿轮与所述第一齿轮相互啮合，所述第二齿轮又固定安装在第二电动机的电机轴上，所述第二电动机固定安装在固定板上，所述固定板固定安装在第三连杆，所述第三连杆通过转轴分别与第二连杆、所述变温台连接，所述第二连杆通过转轴与第一连杆连接，所述第一连杆通过转轴与所述变温台和第一电动机连接，所述第一电动机固定安装在基座上，所述基座与所述变温箱连接。

进一步地，所述变温箱上设置显示屏，显示所述变温台的温度。

进一步地，所述变温箱上还设置电源开关，控制所述变温台的开启与关闭。

进一步地，所述变温箱上还设置温度调节旋钮，调节所述变温台的温度。

进一步地，所述齿轮箱固定安装在所述固定板上。

进一步地，所述中间柱分布在所述变温台1的四角处。

进一步地，所述中间柱由隔温材料制成。

进一步地，所述隔温材料包括以下至少之一：玻璃纤维、石棉、岩棉、硅酸盐、气凝胶毡、真空板。