[发明专利]扫描探针显微镜的测量装置和利用扫描探针显微镜对测量样品进行扫描探针显微测试的方法在审
| 申请号： | 202011322093.1 | 申请日： | 2020-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN112824907A | 公开（公告）日： | 2021-05-21 |
| 发明（设计）人： | 沃尔夫冈·多布勒;达尼洛·尼采;弗雷德里克·布考·范德 | 申请（专利权）人： | 布鲁克纳米有限公司 |
| 主分类号： | G01Q20/04 | 分类号： | G01Q20/04;G01Q10/06;G01Q70/02;B82Y35/00 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 张凯 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及测量装置、扫描探针显微镜和对测量样品进行测试的方法。用于扫描探针显微镜的测量装置具有：样品容纳部，其设置成用于容纳要测试的测量样品；测量探针，其设置在探针支架上并且具有探针尖，该测量样品能够利用所述探针尖进行测量；移位装置，其设置成，为了测量所述测量样品使测量探针和样品容纳部相对于彼此运动，使得测量探针为了测量所述测量样品而相对于测量样品在至少一个空间方向上实施扫描运动；控制装置，其与移位装置连接并控制测量探针与样品容纳部之间的相对运动；以及传感器装置，其设置成，检测测量探针和/或样品容纳部的实际运动的运动测量信号并将所述运动测量信号发送给控制装置。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 探针 显微镜 测量 装置 利用 样品 进行 显微 测试 方法 | ||
【主权项】：
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- 沃尔夫冈·多布勒;达尼洛·尼采;弗雷德里克·布考·范德 - 布鲁克纳米有限公司
- 2020-11-23 - 2021-05-21 - G01Q20/04
- 本发明涉及测量装置、扫描探针显微镜和对测量样品进行测试的方法。用于扫描探针显微镜的测量装置具有：样品容纳部，其设置成用于容纳要测试的测量样品；测量探针，其设置在探针支架上并且具有探针尖，该测量样品能够利用所述探针尖进行测量；移位装置，其设置成，为了测量所述测量样品使测量探针和样品容纳部相对于彼此运动，使得测量探针为了测量所述测量样品而相对于测量样品在至少一个空间方向上实施扫描运动；控制装置，其与移位装置连接并控制测量探针与样品容纳部之间的相对运动；以及传感器装置，其设置成，检测测量探针和/或样品容纳部的实际运动的运动测量信号并将所述运动测量信号发送给控制装置。
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