[实用新型]测试位移的装置

说明书

本实用新型提供一种测试位移的装置，所述装置包括：运动部件；运动极板组，所述运动极板组中至少包括一个运动极板，所述运动极板与所述运动部件相连接；固定极板组，所述固定极板组中至少包括一个固定极板，且所述固定极板与所述运动极板对应设置以构成电容器。本实用新型中的测试位移的装置，增加了与运动部件相连接的运动极板及与运动极板对应设置的固定极板，通过运动极板及固定极板构成可变电容器，从而通过电容器的变化量，实时的获得运动部件的实际位置，可提高操作便捷性及产品质量。

技术领域

本实用新型属于设备装置领域，涉及一种测试位移的装置。

背景技术

当前在半导体制造领域中，半导体设备中通常包括需要移动的运动部件，如基座(Susceptor)、加热器(Heater)等，而这些需要移动的运动部件，一般采用伺服电机作为驱动。

伺服电机是一种靠脉冲来定位的动力元件，其原理基本上可以理解为：当伺服电机接收到1个脉冲，就会旋转1个脉冲对应的角度，从而实现与其相连接的运动部件的位移，伺服电机本身具备发出脉冲的功能，所以伺服电机每旋转一个角度，都会发出对应数量的脉冲，这样和伺服电机接收的脉冲形成了呼应或者叫闭环，从而就会知道发了多少脉冲给伺服电机，同时又收了多少脉冲回来，就能够很精确的控制伺服电机的转动，从而实现对运动部件的精确的定位。

但在实际应用过程中，一方面，伺服电机本身可能出现故障或连接伺服电机与运动部件之间的联轴器可能会出现打滑或存在其他异常，此时位于伺服电机中的编码器无法真实反馈运动部件的实际位置；另一方面，虽然在半导体设备中，运动部件通常也会自带有限位报警传感器，但为节约成本，一般只会在运动部件上设置如包括上极限、下极限、原位置的三个限位报警传感器，因此仅通过伺服电机及限位报警传感器，在存在上述异常状况时，均不能检测运动部件的实际位置，使得工作人员难以实时的掌握运动部件的真实状态，从而影响产品质量，造成资源的浪费。

因此，有必要提供一种测试位移的装置，以实时的、正确的反馈运动部件的实际位置，提高操作便捷性及产品质量，实属必要。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种测试位移的装置，用于解决现有技术中，伺服电机及限位报警传感器不能实时的反馈运动部件的实际位置的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种测试位移的装置，所述装置包括：

运动部件；

运动极板组，所述运动极板组中至少包括一个运动极板，所述运动极板与所述运动部件相连接；

固定极板组，所述固定极板组中至少包括一个固定极板，且所述固定极板与所述运动极板对应设置以构成电容器。

可选地，所述电容器包括平行板电容器。

可选地，所述运动极板与所述运动部件之间的夹角包括0°～90°。

可选地，所述运动极板及固定极板的高度大于等于所述运动部件的限制距离。

可选地，所述运动极板组中包括2个～10个所述运动极板；所述固定极板组中包括2个～10个所述固定极板。

可选地，所述电容器包括N≥2个，且任意两个所述电容器包括相同或不同中的一种。

可选地，所述运动极板与所述运动部件同步移动。

可选地，所述运动部件包括移动丝杆。

可选地，所述运动极板与所述运动部件的连接方式包括焊连接、铆连接、螺纹连接、卡勾连接及销连接中的一种或组合。

可选地，上述测试位移的装置包括应用于半导体设备中的测试位移的装置。