[实用新型]测试位移的装置有效
| 申请号： | 201821950693.0 | 申请日： | 2018-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN208984043U | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 杨杰;林宗贤;吴龙江;胡广严;王昕昀;林立 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/02 | 分类号： | G01B21/02 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 固定极板 极板 运动部件 测试位移 电容器 本实用新型 极板组 可变电容器 实际位置 便捷性 变化量 | ||
1.一种测试位移的装置，其特征在于，所述装置包括：
运动部件；
运动极板组，所述运动极板组中至少包括一个运动极板，所述运动极板与所述运动部件相连接；
固定极板组，所述固定极板组中至少包括一个固定极板，且所述固定极板与所述运动极板对应设置以构成电容器。
2.根据权利要求1所述的测试位移的装置，其特征在于：所述电容器包括平行板电容器。
3.根据权利要求2所述的测试位移的装置，其特征在于：所述运动极板与所述运动部件之间的夹角包括0°～90°。
4.根据权利要求1所述的测试位移的装置，其特征在于：所述运动极板及固定极板的高度大于等于所述运动部件的限制距离。
5.根据权利要求1所述的测试位移的装置，其特征在于：所述运动极板组中包括2个～10个所述运动极板；所述固定极板组中包括2个～10个所述固定极板。
6.根据权利要求1所述的测试位移的装置，其特征在于：所述电容器包括N≥2个，且任意两个所述电容器包括相同或不同中的一种。
7.根据权利要求1所述的测试位移的装置，其特征在于：所述运动极板与所述运动部件同步移动。
8.根据权利要求1所述的测试位移的装置，其特征在于：所述运动部件包括移动丝杆。
9.根据权利要求1所述的测试位移的装置，其特征在于：所述运动极板与所述运动部件的连接方式包括焊连接、铆连接、螺纹连接、卡勾连接及销连接中的一种或组合。
10.根据权利要求1～9中任一所述的测试位移的装置，其特征在于：所述测试位移的装置包括应用于半导体设备中的测试位移的装置。
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