[实用新型]硅片插片机上硅片花篮的输入及输出机构有效
申请号: | 201821898902.1 | 申请日: | 2018-11-19 |
公开(公告)号: | CN208873709U | 公开(公告)日: | 2019-05-17 |
发明(设计)人: | 蒋安明;刘思雄 | 申请(专利权)人: | 苏州卓樱自动化设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人: | 夏平 |
地址: | 215614 江苏省苏州市张家*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 竖向 硅片花篮 滑座 水平活动 花篮 下滑轨 硅片 输出机构 输出装置 输入装置 水平伺服 插片机 龙门架 插片 空料 满料 动力装置驱动 伺服动力装置 本实用新型 驱动 动力装置 输入皮带 竖向滑动 定位座 容置 传送 配合 | ||
本实用新型公开了一种高效全自动无缝更换硅片花篮的硅片插片机上硅片花篮的输入及输出机构,包括分别设置在插片机机架两侧的满料花篮输出装置和回流空料花篮输入装置,机架上设有下滑轨,下滑轨上设有水平活动座,机架上设有驱动水平活动座的水平伺服动力装置,水平活动座上设有两个竖向滑动的竖向滑座以及分别驱动两个竖向滑座的竖向伺服动力装置,竖向滑座上设有容置硅片花篮的花篮定位座,水平伺服动力装置驱动水平活动座上的两个竖向滑座分别与插片机的硅片输入皮带位置相配合;机架上在下滑轨上方设有龙门架,龙门架上设有将硅片花篮在满料花篮输出装置、竖向滑座、及回流空料花篮输入装置间传送的取篮装置。
技术领域
本实用新型涉及一种硅片插片机上硅片花篮的输入及输出机构。
背景技术
在太阳能硅片插片生产中需要不停地将插片工位上的满料花篮取走,然后将空花篮插片工位上,如果采用人工上下料,工作强度过大而且效率低下。现有的插片机一般采用机械手依次完成满料花篮的取料和空花篮的安放,但是这样使得插片线需要配合停顿,等待花篮更换,致使降低了插片机整体的生产效率,
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是:提供一种高效全自动无缝更换硅片花篮的硅片插片机上硅片花篮的输入及输出机构。
为解决上述技术问题,本实用新型所采用的技术方案为:一种硅片插片机上硅片花篮的输入及输出机构,包括分别设置在插片机机架两侧的满料花篮输出装置和回流空料花篮输入装置,机架上在满料花篮输出装置和回流空料花篮输入装置间设有下滑轨,下滑轨上设有水平活动座,机架上设有驱动水平活动座的水平伺服动力装置,水平活动座上设有两个竖向滑动的竖向滑座以及分别驱动两个竖向滑座的竖向伺服动力装置,竖向滑座上设有容置硅片花篮的花篮定位座,水平伺服动力装置驱动水平活动座上的两个竖向滑座分别与插片机的硅片输入皮带位置相配合;机架上在下滑轨上方设有龙门架,龙门架上设有将硅片花篮在满料花篮输出装置、竖向滑座、及回流空料花篮输入装置间传送的取篮装置,取篮装置包括设置在龙门架上的与下滑轨平行的上滑轨,上滑轨的两端分别位于满料花篮输出装置和回流空料花篮输入装置的上方,上滑轨上设有上活动座,龙门架上设有驱动上活动座的上动力装置,上活动座上设有上下运动的夹料座以及驱动夹料座的夹料动力装置,夹料座上设有转动座以及驱动转动座的90°正反转动的转动电机,转动座下部设有夹持硅片花篮的气动夹手。
作为一种优选的方案,所述满料花篮输出装置包括沿垂直于下滑轨的轴线铰接在插片机机架上的输出座以及驱动输出座在水平位置与竖直位置间转动的转动气缸,输出座包括与插片机机架相铰接的底座以及垂直于底座的背部托料框架,底座与背部托料框架间在靠近插片机的硅片输入皮带的一侧还设有加强侧板,底座上设有若干与硅片花篮上矫正销相配合的定位孔。
作为一种优选的方案,所述回流空料花篮输入装置包括沿平行于下滑轨的轴线铰接在插片机机架上的托篮座以及驱动托篮座在水平位置与竖直位置间转动的转动气缸,托篮座包括与插片机机架相铰接的底座以及垂直于底座的背板,底座上设有若干与硅片花篮上矫正销相配合的定位孔。
作为一种优选的方案,所述气动夹手为与花篮上部端板相配合的L形气动夹手。
本实用新型的有益效果是:实现了全自动无缝更换硅片花篮,减去了人工更换硅片花篮时生产线等待的时间,有效提高了整体生产线工作效率,降低了人力成本。
满料花篮输出装置包括沿垂直于下滑轨的轴线铰接在插片机机架上的输出座以及驱动输出座在水平位置与竖直位置间转动的转动气缸,方便了花篮的输出;由于输出座底座上设有若干与硅片花篮上矫正销相配合的定位孔,确保了花篮的定位精度。
由于回流空料花篮输入装置包括沿平行于下滑轨的轴线铰接在插片机机架上的托篮座以及驱动托篮座在水平位置与竖直位置间转动的转动气缸,方便了花篮的安放;由于托篮座的底座上设有若干与硅片花篮上矫正销相配合的定位孔,确保了花篮的定位精度。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造