[实用新型]一种直插型硅片插片取片装置有效

专利信息
申请号: 201821891659.0 申请日: 2018-11-16
公开(公告)号: CN209071294U 公开(公告)日: 2019-07-05
发明(设计)人: 张学强;戴军;张建伟;罗银兵 申请(专利权)人: 罗博特科智能科技股份有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/687
代理公司: 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 代理人: 殷海霞
地址: 215000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 硅片 插片 梳齿组件 升降驱动组件 水平驱动组件 取片装置 夹持槽 梳齿片 直插型 梳齿 本实用新型 自动化设备 间隔设置 排列整齐 驱动梳齿 生产效率 相邻梳齿 依次排列 组件包括 间隔槽 破损率 支撑夹 夹持 两组 取片 平行 升降 驱动
【说明书】:

实用新型涉及自动化设备技术领域,公开了一种直插型硅片插片取片装置,其包括包括梳齿组件、升降驱动组件、两置中组件和水平驱动组件;梳齿组件包括两组相互平行并间隔设置的梳齿,梳齿包括若干依次排列的梳齿片,相邻梳齿片之间设有间隔槽,梳齿片的顶部设有夹持槽,夹持槽用于对产品进行夹持,升降驱动组件用于驱动梳齿升降;两置中组件分别设于梳齿组件的两侧,置中组件包括置中板,水平驱动组件用于驱动两置中板分别从两侧向中间运动,将产品置中。实现硅片的置中并排列整齐,便于对其进行插片操作,并通过支撑夹持的方式进行插片和取片,减少了在硅片转移过程中的破损率,同时提高了生产效率。

技术领域

本实用新型涉及硅片生产设备技术领域,特别涉及一种直插型硅片插片取片装置。

背景技术

在太阳能硅片工艺处理步骤中,需要先进行插片操作,即将多片硅片相互间隔地放置在石英舟上,然后进行工艺处理,然后进行取片操作,即再将工艺处理完后的硅片从石英舟内取出,以备后续的工艺操作。目前主要利用三种抓取方式对硅片进行抓取,即:夹持式、电磁吸附式、真空吸盘式。其中,由于硅片厚度很薄,材质较脆,夹持式容易造成硅片损坏,电磁吸附式及真空吸附式结构较为复杂,零件加工难度较大,真空吸附式由于其吸盘的抽气孔在吸盘中心位置,在真空抽气和充气的瞬间,气体会对硅片造成较大的局部冲击,并且为了获得足够的吸附力,往往会减少吸盘与硅片的接触面积,使形成的真空吸附腔集中在吸盘中心处,这样会造成硅片中心受力集中而导致硅片破损。因此,需要一种新的装置,来安全高效地实现硅片插片和取片操作。

实用新型内容

针对现有技术的不足,本实用新型目的在于提供一种安全高效,可在插片前对硅片进行调整的硅片插片取片装置,其采用如下技术方案:

一种直插型硅片插片取片装置,其包括梳齿组件、升降驱动组件、两置中组件和水平驱动组件;

所述梳齿组件包括两组相互平行并间隔设置的梳齿,所述梳齿包括若干依次排列的梳齿片,相邻所述梳齿片之间设有间隔槽,所述梳齿片的顶部设有夹持槽,所述夹持槽用于对产品进行夹持,所述升降驱动组件用于驱动所述梳齿升降;

所述两置中组件分别设于所述梳齿组件的两侧,所述置中组件包括置中板,所述水平驱动组件用于驱动两置中板分别从两侧向中间运动,将产品置中。

作为本实用新型的进一步改进,所述升降驱动组件包括竖直导轨、升降座、升降电机,所述升降座设于所述竖直导轨上,所述升降电机驱动所述升降座升降,所述梳齿组件设于所述升降座上。

作为本实用新型的进一步改进,所述梳齿底部设有第一支撑架,所述第一支撑架与升降座固定连接。

作为本实用新型的进一步改进,所述水平驱动组件包括水平轨道、水平座、水平气缸,所述水平座设于所述水平导轨上,所述水平气缸驱动所述水平座水平运动,所述置中组件设于所述水平座上。

作为本实用新型的进一步改进,所述置中板底部设有第二支撑架,所述第二支撑架与所述水平座固定连接。

作为本实用新型的进一步改进,所述置中板上设有若干依次排列的产品容纳槽。

作为本实用新型的进一步改进,所述置中板上对称设置有上限位板和下限位板,所述上限位板与下限位板互相配合。

作为本实用新型的进一步改进,所述夹持槽的开口处设有产品引导斜面。

作为本实用新型的进一步改进,所述间隔槽的深度大于所述夹持槽的深度。

本实用新型的有益效果:

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