[实用新型]一种湿式制程设备减少水耗用量的连动槽体有效

专利信息
申请号: 201821801682.6 申请日: 2018-11-02
公开(公告)号: CN208767268U 公开(公告)日: 2019-04-19
发明(设计)人: 魏杰;罗文滨 申请(专利权)人: 安徽宏实自动化装备有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 代理人: 胡剑辉
地址: 230001 安徽省合*** 国省代码: 安徽;34
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 喷水管 本实用新型 上槽 抽水管 下槽 表面中间位置 设备减少 湿式制程 进水管 连动槽 底端 水槽 平行设置 上端位置 循环用水 一端连接 洁净度 循环泵 引流板 使用率 冲洗 洁净 侧面 供水 贯穿
【权利要求书】:

1.一种湿式制程设备减少水耗用量的连动槽体,其特征在于,包括循环下槽(1)与制成上槽(2),所述循环下槽(1)与制成上槽(2)平行设置,所述制成上槽(2)的侧面靠近上端位置设置有进水管(3),所述进水管(3)的一端贯穿制成上槽(2)连接有一号喷水管(4),所述一号喷水管(4)的底端表面中间位置连接有一号抽水管(5),所述一号抽水管(5)的另一端连接有循环泵(6),所述一号喷水管(4)的一侧安装有二号喷水管(7),所述二号喷水管(7)的底端表面中间位置连接有二号抽水管(8),所述二号喷水管(7)的一侧安装有三号喷水管(9),所述三号喷水管(9)的底端表面中间位置连接有三号抽水管(10),所述三号喷水管(9)的一侧安装有化学试剂喷管(11),所述化学试剂喷管(11)的底端表面中间位置连接有化学试剂抽管(12),所述制成上槽(2)的内部均匀分布有三组隔板(13),贯穿所述三组隔板(13)及制成上槽(2)的内壁安装有产品输送带(14),所述制成上槽(2)远离进水管(3)的侧面安装有驱动电机(15),所述循环下槽(1)的内部依次设置有三号洁净水槽(16)、二号洁净水槽(17)、一号洁净水槽(18)及化学槽(19),且一号洁净水槽(18)的底部边角位置设置有排水管(20),所述三组隔板(13)的正下方均固定安装有三号液位挡片(21)、一号液位挡片(22)与二号液位挡片(23),贯穿所述隔板(13)的内部中间位置开设有通孔(24),所述隔板(13)的底端表面对称设置有两组引流板(25),所述二号喷水管(7)的底端表面安装有两组喷头(26)。

2.根据权利要求1所述的一种湿式制程设备减少水耗用量的连动槽体,其特征在于,所述一号液位挡片(22)、二号液位挡片(23)与三号液位挡片(21)的高度依次递增,所述一号洁净水槽(18)、二号洁净水槽(17)与三号洁净水槽(16)中水的洁净度依次递增。

3.根据权利要求1所述的一种湿式制程设备减少水耗用量的连动槽体,其特征在于,所述二号喷水管(7)通过二号抽水管(8)支撑安装,且二号抽水管(8)为钢管。

4.根据权利要求1所述的一种湿式制程设备减少水耗用量的连动槽体,其特征在于,所述驱动电机(15)带动产品输送带(14)转动,产品穿过所述通孔(24)从左向右输送。

5.根据权利要求1所述的一种湿式制程设备减少水耗用量的连动槽体,其特征在于,所述两组喷头(26)关于二号抽水管(8)对称设置,且一号喷水管(4)、三号喷水管(9)及化学试剂喷管(11)的底端表面均安装有喷头(26)。

6.根据权利要求1所述的一种湿式制程设备减少水耗用量的连动槽体,其特征在于,所述三号洁净水槽(16)、二号洁净水槽(17)及一号洁净水槽(18)的循环液位下限高于循环泵(6)一定高度。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安徽宏实自动化装备有限公司,未经安徽宏实自动化装备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201821801682.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top