[实用新型]一种湿式制程设备减少水耗用量的连动槽体有效
申请号: | 201821801682.6 | 申请日: | 2018-11-02 |
公开(公告)号: | CN208767268U | 公开(公告)日: | 2019-04-19 |
发明(设计)人: | 魏杰;罗文滨 | 申请(专利权)人: | 安徽宏实自动化装备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人: | 胡剑辉 |
地址: | 230001 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 喷水管 本实用新型 上槽 抽水管 下槽 表面中间位置 设备减少 湿式制程 进水管 连动槽 底端 水槽 平行设置 上端位置 循环用水 一端连接 洁净度 循环泵 引流板 使用率 冲洗 洁净 侧面 供水 贯穿 | ||
1.一种湿式制程设备减少水耗用量的连动槽体,其特征在于,包括循环下槽(1)与制成上槽(2),所述循环下槽(1)与制成上槽(2)平行设置,所述制成上槽(2)的侧面靠近上端位置设置有进水管(3),所述进水管(3)的一端贯穿制成上槽(2)连接有一号喷水管(4),所述一号喷水管(4)的底端表面中间位置连接有一号抽水管(5),所述一号抽水管(5)的另一端连接有循环泵(6),所述一号喷水管(4)的一侧安装有二号喷水管(7),所述二号喷水管(7)的底端表面中间位置连接有二号抽水管(8),所述二号喷水管(7)的一侧安装有三号喷水管(9),所述三号喷水管(9)的底端表面中间位置连接有三号抽水管(10),所述三号喷水管(9)的一侧安装有化学试剂喷管(11),所述化学试剂喷管(11)的底端表面中间位置连接有化学试剂抽管(12),所述制成上槽(2)的内部均匀分布有三组隔板(13),贯穿所述三组隔板(13)及制成上槽(2)的内壁安装有产品输送带(14),所述制成上槽(2)远离进水管(3)的侧面安装有驱动电机(15),所述循环下槽(1)的内部依次设置有三号洁净水槽(16)、二号洁净水槽(17)、一号洁净水槽(18)及化学槽(19),且一号洁净水槽(18)的底部边角位置设置有排水管(20),所述三组隔板(13)的正下方均固定安装有三号液位挡片(21)、一号液位挡片(22)与二号液位挡片(23),贯穿所述隔板(13)的内部中间位置开设有通孔(24),所述隔板(13)的底端表面对称设置有两组引流板(25),所述二号喷水管(7)的底端表面安装有两组喷头(26)。
2.根据权利要求1所述的一种湿式制程设备减少水耗用量的连动槽体,其特征在于,所述一号液位挡片(22)、二号液位挡片(23)与三号液位挡片(21)的高度依次递增,所述一号洁净水槽(18)、二号洁净水槽(17)与三号洁净水槽(16)中水的洁净度依次递增。
3.根据权利要求1所述的一种湿式制程设备减少水耗用量的连动槽体,其特征在于,所述二号喷水管(7)通过二号抽水管(8)支撑安装,且二号抽水管(8)为钢管。
4.根据权利要求1所述的一种湿式制程设备减少水耗用量的连动槽体,其特征在于,所述驱动电机(15)带动产品输送带(14)转动,产品穿过所述通孔(24)从左向右输送。
5.根据权利要求1所述的一种湿式制程设备减少水耗用量的连动槽体,其特征在于,所述两组喷头(26)关于二号抽水管(8)对称设置,且一号喷水管(4)、三号喷水管(9)及化学试剂喷管(11)的底端表面均安装有喷头(26)。
6.根据权利要求1所述的一种湿式制程设备减少水耗用量的连动槽体,其特征在于,所述三号洁净水槽(16)、二号洁净水槽(17)及一号洁净水槽(18)的循环液位下限高于循环泵(6)一定高度。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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