[实用新型]蒸镀装置及其挡板机构

权利要求书

1.一种蒸镀装置的挡板机构，其特征在于，包括挡板、收放装置和收集薄膜，所述挡板的一端用于与蒸镀装置的蒸镀腔体连接，所述挡板具有收集面；所述收放装置设于所述挡板上，所述收集薄膜设于所述收放装置上且覆盖所述收集面，所述收集薄膜用于收集蒸镀材料，所述收放装置用于收放所述收集薄膜。

2.如权利要求1所述的蒸镀装置的挡板机构，其特征在于，所述收放装置包括平行设置的放卷轴及收卷轴，所述收集薄膜的一端缠绕形成的卷筒套设于所述放卷轴上，所述收集薄膜的另一端固定于所述收卷轴上。

3.如权利要求2所述的蒸镀装置的挡板机构，其特征在于，所述收卷轴与所述放卷轴分别设置在所述挡板的收集面和与所述收集面相对的表面上。

4.如权利要求2所述的蒸镀装置的挡板机构，其特征在于，所述放卷轴与所述收卷轴靠近所述挡板的同一端设置。

5.如权利要求4所述的蒸镀装置的挡板机构，其特征在于，还包括滚轴，所述滚轴可转动地设置在所述挡板的远离所述放卷轴和所述收卷轴的端部，所述滚轴与所述放卷轴平行设置。

6.如权利要求5所述的蒸镀装置的挡板机构，其特征在于，所述滚轴的直径不小于所述挡板的厚度。

7.如权利要求1～6任一项所述的蒸镀装置的挡板机构，其特征在于，还包括挡板支架，所述挡板支架的一端连接于所述挡板，所述挡板支架的另一端用于与所述蒸镀装置的蒸镀腔体连接，所述挡板支架能够伸缩以带动所述挡板运动。

8.一种蒸镀装置，其特征在于，包括蒸镀腔体以及设置在所述蒸镀腔体内的基板支架和如权利要求1～7任一项所述的挡板机构，所述基板支架连接于所述蒸镀腔体的顶部，所述挡板机构设置在所述基板支架的下方，所述挡板连接于所述蒸镀腔体的侧壁，且所述收集面背向所述基板支架设置。

9.如权利要求8所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括蒸出速率监测器，所述蒸出速率监测器设置在所述蒸镀腔体内，所述蒸出速率监测器用于检测蒸镀材料的蒸出速率。

10.如权利要求8或9所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括蒸镀容器，所述蒸镀容器设置在所述蒸镀腔体的底部。