[实用新型]带原位蒸金功能的软X射线光束线通量检测装置

权利要求书

1.带原位蒸金功能的软X射线光束线通量检测装置，具有真空法兰管道，该真空法兰管道具有连接上游和下游光学部件的入射法兰和出射法兰，在该入射法兰和出射法兰之间的真空法兰管道内有金网，其特征在于，

所述真空法兰管道为六通管道，所述入射法兰和出射法兰沿该六通管道的x向设置；沿其y向设有蒸金器安装法兰，其内固接有蒸金器；沿其z向则设有金网安装法兰，

所述金网由真空法兰管道内的金网夹持电极固定，并与外部的真空密封BNC电极电连接，该夹持电极通过所述金网安装法兰固定于真空法兰管道内，

一个旋转组件通过该金网安装法兰与所述真空法兰管道内的金网夹持电极相连。

2.根据权利要求1所述的带原位蒸金功能的软X射线光束线通量检测装置，其特征在于，所述蒸金器由真空坩埚型加热器和电流引入电极组成，通过铜垫圈和真空CF法兰密封安装。

3.根据权利要求1或2所述的带原位蒸金功能的软X射线光束线通量检测装置，其特征在于，所述旋转组件包括旋转柄和旋转轴，所述旋转柄凸伸于金网安装法兰外部，而旋转轴则自旋转柄延伸穿过金网安装法兰且该旋转轴的自由端与所述真空法兰管道内的金网夹持电极连接。

4.根据权利要求3所述的带原位蒸金功能的软X射线光束线通量检测装置，其特征在于，所述金网夹持电极具有固定金网的两接触块，该两接触块由紧固件紧固。

5.根据权利要求4所述的带原位蒸金功能的软X射线光束线通量检测装置，其特征在于，所述接触块的上下两侧设有蒸金扩散阻挡片。

6.根据权利要求1所述的带原位蒸金功能的软X射线光束线通量检测装置，其特征在于，所述六通管道沿其z向设有与金网安装法兰相对置的金属角阀安装法兰，该金属角阀安装法兰与一金属角阀相连，该金属角阀则通过波纹管与分子泵机组连接。

7.根据权利要求6所述的带原位蒸金功能的软X射线光束线通量检测装置，其特征在于，所述金属角阀连接有真空规，所述真空规接入真空联锁。

8.根据权利要求1所述的带原位蒸金功能的软X射线光束线通量检测装置，其特征在于，所述六通管道沿其z向设有旁路，该旁路中设有一用于检测金网面镀金厚度的石英晶振膜厚仪。

9.根据权利要求1所述的带原位蒸金功能的软X射线光束线通量检测装置，其特征在于，所述六通管道沿其y向设有与蒸金器安装法兰相对置的观察窗法兰，该观察窗法兰的内壁前设有挡板。

10.根据权利要求1所述的带原位蒸金功能的软X射线光束线通量检测装置，其特征在于，所述真空法兰管道本底压强≤10^-9mbar。