[实用新型]一种蓝膜片管芯剔除装置有效
| 申请号： | 201821639689.2 | 申请日： | 2018-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN209216928U | 公开（公告）日： | 2019-08-06 |
| 发明（设计）人： | 张淑云 | 申请（专利权）人： | 天津天物金佰微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/687 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 刘莹 |
| 地址： | 300000 天津市西青*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 支撑框 支撑滑板 管芯 顶针体 蓝膜 本实用新型 管芯位置 剔除装置 滑块 片管 剔除 底板 配合 工作台表面 对称固定 工作效率 连接牢固 位置稳定 左右位移 滑道 内置 针头 封装 装配 损伤 芯片 观察 | ||
1.一种蓝膜片管芯剔除装置，其特征在于：包括支撑框，在支撑框的底板上设置有顶针体，顶针体高度高于支撑框高度，支撑框底部对称固定有两个配合滑块，支撑框通过配合滑块装配在支撑滑板上，支撑框沿支撑滑板上的滑道可左右位移，支撑滑板固定在工作台表面。
2.根据权利要求1所述的一种蓝膜片管芯剔除装置，其特征在于：支撑框截面为圆形或方形。
3.根据权利要求1所述的一种蓝膜片管芯剔除装置，其特征在于：顶针体位于底板的中心位置并与底板垂直固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种蓝膜片管芯剔除装置，其特征在于：支撑框上表面均匀设置有多个卡接台，该卡接台为小柱体，卡接台与蓝膜片的支撑架相匹配。
5.根据权利要求1所述的一种蓝膜片管芯剔除装置，其特征在于：支撑框的内壁上设置有多个灯罩，灯罩内安装有LED灯。
6.根据权利要求1所述的一种蓝膜片管芯剔除装置，其特征在于：支撑滑板上设置有两道与配合滑块相匹配的滑道。
7.根据权利要求6所述的一种蓝膜片管芯剔除装置，其特征在于：支撑滑板在滑道两侧个设置有一块限位板，该限位板限定配合滑块的位移极限位置。
8.根据权利要求7所述的一种蓝膜片管芯剔除装置，其特征在于：限位板为L型连接片，正向固定螺栓将限位板及支撑滑板固定在工作台表面上。
9.根据权利要求1所述的一种蓝膜片管芯剔除装置，其特征在于：支撑滑板在工作台边缘还设置有侧连接板，侧连接板与支撑滑板一体折弯成型，侧连接板通过侧向固定螺栓固定在工作台上。
10.根据权利要求1所述的一种蓝膜片管芯剔除装置，其特征在于：顶针体的直径为管芯尺寸的80％-120％。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
