[实用新型]OLED蒸镀用挡板的干冰清洗装置有效
申请号: | 201821608516.4 | 申请日: | 2018-09-30 |
公开(公告)号: | CN208928755U | 公开(公告)日: | 2019-06-04 |
发明(设计)人: | 陈文勇 | 申请(专利权)人: | 上海钥熠电子科技有限公司 |
主分类号: | B08B7/00 | 分类号: | B08B7/00;B08B13/00 |
代理公司: | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 | 代理人: | 胡永宏 |
地址: | 201203 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 挡板 蒸镀 干冰清洗装置 清洗 材料收集 清洗腔体 发生器 清洗腔 干冰 挡板固定装置 风机过滤机组 负压引流装置 本实用新型 回收 封闭结构 干冰清洗 环境友好 有机溶剂 半透明 体内部 体内 透明 替代 | ||
1.OLED蒸镀用挡板的干冰清洗装置,其特征在于,包括干冰发生器、材料收集器和清洗腔体,待清洗的OLED蒸镀用挡板置于所述清洗腔体内;其中,
所述清洗腔体为透明或半透明的封闭结构,顶部设有风机过滤机组,底部与所述材料收集器连接,内部设有所述待清洗OLED蒸镀用挡板的固定装置;
所述干冰发生器与所述清洗腔体内部连接;
所述材料收集器设有负压引流装置。
2.根据权利要求1所述的干冰清洗装置,其特征在于,还包括风刀吹干装置、红外加热装置和喷砂装置。
3.根据权利要求1所述的干冰清洗装置,其特征在于,所述清洗腔体为倒梯形结构。
4.根据权利要求1所述的干冰清洗装置,其特征在于,所述清洗腔体外部与高压水喷淋装置连接。
5.根据权利要求1所述的干冰清洗装置,其特征在于,所述清洗腔体的侧壁设有若干个操作口。
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