[实用新型]一种多晶硅还原炉尾气输送结构有效

专利信息
申请号: 201821507719.4 申请日: 2018-09-14
公开(公告)号: CN208802835U 公开(公告)日: 2019-04-30
发明(设计)人: 余涛;刘晓彬;周维维 申请(专利权)人: 四川永祥多晶硅有限公司
主分类号: C01B33/035 分类号: C01B33/035
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 王学强;罗满
地址: 614800 四川省*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 中空管 炉体 多晶硅还原炉 中空管侧壁 尾气输送 通孔 本实用新型 还原炉尾气 排气管路 倾斜设置 副产物 还原炉 排气管 并靠 穿出 带通 竖直 连通 通气 阻隔 体内 排放
【权利要求书】:

1.一种多晶硅还原炉尾气输送结构,包括炉体,其特征在于,所述炉体内竖直或倾斜设置有中空管,所述中空管从炉体底部穿出并与设置在炉体外的排气管连通;所述中空管侧壁设有通孔。

2.如权利要求1所述的多晶硅还原炉尾气输送结构,其特征在于,所述中空管顶部设有凹槽,保护盖通过所述凹槽活动设置在中空管上。

3.如权利要求2所述的多晶硅还原炉尾气输送结构,其特征在于,所述保护盖上设置有镂空结构。

4.如权利要求2所述的多晶硅还原炉尾气输送结构,其特征在于,所述中空管为氮化硅材质的中空管。

5.如权利要求4所述的多晶硅还原炉尾气输送结构,其特征在于,所述保护盖为氮化硅材质的保护盖。

6.如权利要求1所述的多晶硅还原炉尾气输送结构,其特征在于,所述中空管设置在炉体底部的中心;所述通孔数量不少于两个,关于中空管的轴线呈轴对称设置。

7.如权利要求6所述的多晶硅还原炉尾气输送结构,其特征在于,相邻所述通孔等间距设置。

8.如权利要求1所述的多晶硅还原炉尾气输送结构,其特征在于,所述通孔形状为圆孔、腰型孔和椭圆孔中的至少一种。

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