[实用新型]自动化石墨舟卡点更换机

说明书

本实用新型属于太阳能电池制造领域，尤其涉及一种自动化石墨舟卡点更换机，包括机架主体、新卡点储料箱、上模模组、中模模组、装点模组、控制模组，在使用时首先将待更换卡点的石墨舟放置在中模模组上，然后在控制模组的控制下，利用上模模组中的若干卸点柱将旧卡点卸载下来，然后中模模组进行位移至装点位，装点器对石墨舟安装新的卡点，当装点器中的卡点装完之后，装点器在装点器位移驱动机构的驱动下位移至新卡点储料箱下方，新卡点储料箱将其存储的新卡点自动下料至装点器中的料斗中，加料速度快，能够有效保障后续工作流程顺畅，提高工作效率。本实用新型自动化程度高，操作简便，更换质量高，产品合格率提高，省时省力，工作效率高，应用前景广阔。

技术领域

本发明属于太阳能电池制造领域，尤其涉及一种自动化石墨舟卡点更换机。

背景技术

随着太阳能电池的迅猛发展，越来越多的太阳能电池进入民用领域。在太阳能电池的生产过程中，PECVD（PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition，等离子体增强化学气相沉积法）镀膜工艺是生产流程中的重要环节，起到举足轻重的作用。PECVD是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。硅片进行其表面镀膜工序时，需要将未镀膜的硅片插入PECVD 真空镀膜设备的载片器上。目前，载片器通常采用石墨舟，具体操作过程是：将硅片插入石墨舟并通过石墨舟卡点定位于其上，然后，将载有硅片的石墨舟放置在PECVD 真空镀膜设备中，采用PECVD 工艺对硅片进行镀膜。为了固定硅片于石墨舟中，石墨舟的石墨舟片上设有用于固定硅片的卡点，由于硅片在插取过程中会对卡点有一定的磨损，需要定期对卡点进行更换，以便保证石墨舟的良好状态，进而保证硅片的镀膜质量。

传统石墨舟卡点的更换方法操作步骤复杂且繁琐、同时对装配人员技能要求比较高，如果技能操作不到位会导致更换过程中石墨舟片和石墨舟卡点损坏或装配不到位，传统的石墨舟卡点更换操作方法是：石墨舟卡点需要使用到一台简易手动压机，同时压机两边需用泡沫板或橡胶皮垫垫得和手动压机平台一样的高度，操作人员坐在压机面前将石墨舟片平放置于手动压机平台上面，然后依次将石墨舟的24个卡点用手动压机卸下，石墨舟卡点卸下之后操作人员将要更换新的卡点放置于对应卡孔上面，小心翼翼的用左手扶好右手往下转动压机，手使的力度要把握好，如果使用的力度太大会把石墨舟和卡点压坏，如果使用的力度太小就压不到位，压完一张石墨舟片的卡点后，继续下一张石墨舟片卡点的更换，一个石墨舟有27片组成，通常一天需要更换好几个这样的石墨舟卡点，人员操作复杂繁琐，常常因为来不及更换石墨舟卡点，而导致生产进度缓慢，一般情况下因为赶进度而损坏石墨舟片或卡点压不到位的情况非常多，导致硅片制作过程中损坏或脱落情况，影响产品质量。

发明内容

本发明的目的是解决上述现有技术的不足，提供一种自动化程度高、操作简便、更换质量高、不会对卡点造成损坏、工作效率高的自动化石墨舟卡点更换机。

本发明解决上述现有技术的不足所采用的技术方案是：

一种自动化石墨舟卡点更换机，其特征在于，包括：

机架主体，供承载设置在其上的其它模组；

新卡点储料箱，设置在所述机架主体一侧，为石墨舟提供新的卡点；

上模模组，包括上模和上模位移驱动机构，所述上模位移驱动机构连接所述上模，所述上模在所述上模位移驱动机构的驱动下进行上下位移，所述上模上设有若干用于对旧卡点进行卸载的上模卸点柱；

中模模组，包括中模和中模位移驱动机构，所述中模位移驱动机构连接所述中模，所述中模在所述中模位移驱动机构的驱动下在原点位与装点位之间进行左右位移，所述中模供放置待卸载卡点的石墨舟；