[实用新型]图形化金膜电极电阻值自动化测量系统

说明书

本实用新型提供了一种图形化金膜电极电阻值自动化测量系统，涉及电阻检测领域技术领域，该图形化金膜电极电阻值自动化测量系统，包括：机架、视觉定位装置、电阻值探测装置和移动载物平台；所述视觉定位装置固定在所述机架上，所述电阻值探测装置与所述机架滑动连接，所述机架上固定有第一驱动装置，且所述第一驱动装置的活动端与所述电阻值探测装置连接，用于带动所述电阻值探测装置朝所述移动载物平台；所述移动载物平台包括载台和第二驱动装置，所述第二驱动装置与所述载台连接，用于带动所述载台在沿垂直于所述电阻值探测装置运动方向所在的面上进行水平运动。可以全自动的检测图形化电极的电阻，减少人力成本，提升生产效率。

技术领域

本实用新型涉及电阻检测领域技术领域，尤其是涉及一种图形化金膜电极电阻值自动化测量系统。

背景技术

随着大规模集成电路和微纳器件向高集成、小尺寸、窄距离方向发展，在半导体芯片、LED行业、微波半导体以及光波导等领域，对芯片间电极相连接的金属薄膜质量要求越来越高。例如，金作为金属材料用来制备薄膜电极,不仅具有优良的导电性，而且具有较高的可见光透光性。在高温下金的稳定性非常好，不容易被氧化，大大拓宽了金薄膜的应用领域。同时，金属于正温度系数的材料，导电性随着温度的降低变得更好，这使金薄膜电极在低温物性测量系统和严寒地区显示出氧化物薄膜电极无可比拟的特性。

目前在图形化金膜电极生产工艺过程中，大部份都是依赖生产线人员借助电阻测量仪手动测量金膜电极的电阻值进行判断金膜电极的质量问题。这样将存在一些缺点，首先，通过生产线人员进行手动逐一测量，存在很大的人员的主观性，易造成误检、漏检；第二，由于是由生产线人员进行人眼判断，其中人眼易疲劳，并且检测效率较低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种图形化金膜电极电阻值自动化测量系统，以缓解了人员进行手动逐一测量，存在很大的人员的主观性，易造成误检、漏检；由于是由生产线人员进行人眼判断，其中人眼易疲劳，并且效率较低的技术问题。

第一方面，本实用新型实施例提供的一种图形化金膜电极电阻值自动化测量系统，包括：机架、视觉定位装置、电阻值探测装置和移动载物平台；

所述视觉定位装置固定在所述机架上，所述电阻值探测装置与所述机架滑动连接，所述机架上固定有第一驱动装置，且所述第一驱动装置的活动端与所述电阻值探测装置连接，用于带动所述电阻值探测装置朝所述移动载物平台；

所述移动载物平台包括载台和第二驱动装置，所述第二驱动装置与所述载台连接，用于带动所述载台在沿垂直于所述电阻值探测装置运动方向所在的面上进行水平运动。

进一步的，所述第一驱动装置包括第一丝杆导轨滑台，所述第一丝杆导轨滑台包括第一滑块，所述第一丝杆导轨滑台固定在所述机架上，所述电阻值探测装置固定在所述第一滑块上。

进一步的，所述第二驱动装置包括第一驱动机构和第二驱动机构，所述第二驱动机构与所述第一驱动机构的活动端连接，以使所述第一驱动机构驱动所述第二驱动机构运动；所述载台固定在所述第二驱动机构的活动端，以使所述第二驱动机构驱动所述载台运动。

进一步的，所述第一驱动机构包括第二丝杆导轨滑台，所述第二丝杆导轨滑台包括第二滑块，所述第二丝杆导轨滑台固定在所述机架上，所述第二驱动机构固定在所述第二滑块上。

进一步的，所述第二驱动机构包括第三丝杆导轨滑台，所述第三丝杆导轨滑台包括第三滑块，所述第三丝杆导轨滑台固定在所述第二滑块上，所述载台固定在所述第三滑块上。

进一步的，所述第一滑块能够沿第一方向运动，所述第二滑块能够沿第二方向滑动，所述第三滑块能够沿第三方向滑动，且所述第一方向、第二方向和第三方向彼此互相垂直。

进一步的，所述载台包括支撑板面和真空发生机构，所述支撑板面的上设置有与所述真空发生机构连接的吸孔，所述吸孔用于吸附图形化电极板。