[实用新型]图形化金膜电极电阻值自动化测量系统

权利要求书

1.一种图形化金膜电极电阻值自动化测量系统，其特征在于，包括：机架、视觉定位装置、电阻值探测装置和移动载物平台；

所述视觉定位装置固定在所述机架上，所述电阻值探测装置与所述机架滑动连接，所述机架上固定有第一驱动装置，且所述第一驱动装置的活动端与所述电阻值探测装置连接，用于带动所述电阻值探测装置朝所述移动载物平台；

所述移动载物平台包括载台和第二驱动装置，所述第二驱动装置与所述载台连接，用于带动所述载台在沿垂直于所述电阻值探测装置运动方向所在的面上进行水平运动。

2.根据权利要求1所述的图形化金膜电极电阻值自动化测量系统，其特征在于，所述第一驱动装置包括第一丝杆导轨滑台，所述第一丝杆导轨滑台包括第一滑块，所述第一丝杆导轨滑台固定在所述机架上，所述电阻值探测装置固定在所述第一滑块上。

3.根据权利要求2所述的图形化金膜电极电阻值自动化测量系统，其特征在于，所述第二驱动装置包括第一驱动机构和第二驱动机构，所述第二驱动机构与所述第一驱动机构的活动端连接，以使所述第一驱动机构驱动所述第二驱动机构运动；所述载台固定在所述第二驱动机构的活动端，以使所述第二驱动机构驱动所述载台运动。

4.根据权利要求3所述的图形化金膜电极电阻值自动化测量系统，其特征在于，所述第一驱动机构包括第二丝杆导轨滑台，所述第二丝杆导轨滑台包括第二滑块，所述第二丝杆导轨滑台固定在所述机架上，所述第二驱动机构固定在所述第二滑块上。

5.根据权利要求4所述的图形化金膜电极电阻值自动化测量系统，其特征在于，所述第二驱动机构包括第三丝杆导轨滑台，所述第三丝杆导轨滑台包括第三滑块，所述第三丝杆导轨滑台固定在所述第二滑块上，所述载台固定在所述第三滑块上。

6.根据权利要求5所述的图形化金膜电极电阻值自动化测量系统，其特征在于，所述第一滑块能够沿第一方向运动，所述第二滑块能够沿第二方向滑动，所述第三滑块能够沿第三方向滑动，且所述第一方向、第二方向和第三方向彼此互相垂直。

7.根据权利要求1所述的图形化金膜电极电阻值自动化测量系统，其特征在于，所述载台包括支撑板面和真空发生机构，所述支撑板面的上设置有与所述真空发生机构连接的吸孔，所述吸孔用于吸附图形化电极板。

8.根据权利要求7所述的图形化金膜电极电阻值自动化测量系统，其特征在于，所述载台包括电机，所述电机的动力输出端与所述支撑板面连接，用于带动所述支撑板面在其所在平面转动。

9.根据权利要求1所述的图形化金膜电极电阻值自动化测量系统，其特征在于，所述视觉定位装置包括相机和镜头，所述相机与所述镜头相连，通过所述镜头实现所述相机对图形化电极上标记位置的图像采集，且所述镜头上方为给所述相机和所述镜头拍照提供光线的光源。

10.根据权利要求9所述的图形化金膜电极电阻值自动化测量系统，其特征在于，所述相机为高帧率高像素相机；所述镜头为物方远心镜头；所述光源为白光同轴光源。