[实用新型]一种电镀润湿装置

权利要求书

1.一种电镀润湿装置，其特征在于，包括：

腔体；

喷头区域，设置于所述腔体上壁的内侧；所述喷头区域设置有至少一个喷头，所述喷头与设置在所述上壁的管路连通，所述管路用于通以润湿液体；

载物台，设置于所述腔体的下方，用于使待镀晶片基本水平放置。

2.根据权利要求1所述的电镀润湿装置，其特征在于，所述腔体的上壁设置有第一开口；所述装置还包括：

盖体，适于盖合在所述第一开口；所述上壁的管路设置于所述盖体内部；所述喷头区域为所述盖体的朝向所述腔体内部的一面。

3.根据权利要求2所述的电镀润湿装置，其特征在于，所述盖体的形状与所述待镀晶片的形状相同，和/或，所述盖体的朝向所述腔体内部的表面面积不小于所述待镀晶片一侧表面的面积。

4.根据权利要求1所述的电镀润湿装置，其特征在于，所述喷头区域内设置有至少三个喷头，并且所述至少三个喷头不在同一直线上。

5.根据权利要求1所述的电镀润湿装置，其特征在于，所述喷头的喷射端部具有至少两个喷嘴，所述至少两个喷嘴适于朝向至少两个方向喷射液体。

6.根据权利要求1所述的电镀润湿装置，其特征在于，所述载物台包括：

支撑柱，沿竖直方向设置，一端固定设置于所述腔体底部；

台面，其一侧的中部与所述支撑柱的另一端抵接设置，其表面用于放置所述待镀晶片。

7.根据权利要求6所述的电镀润湿装置，其特征在于，还包括：

第一转动部件，设置于所述台面的中部与所述支撑柱的一端之间，用于使所述台面围绕所述支撑柱转动；和/或，

第二转动部件，设置于所述支撑柱上，用于控制所述支撑柱围绕其轴线转动。

8.根据权利要求7所述的电镀润湿装置，其特征在于，所述台面的背离所述支撑柱的一面设置有至少三个紧固件，适于调整至所述待镀晶片的边缘以固定所述待镀晶片。

9.根据权利要求1所述的电镀润湿装置，其特征在于，还包括：

排液口，设置于所述腔体的底部。

10.根据权利要求1所述的电镀润湿装置，其特征在于，还包括：

进液孔，设置在所述腔体的内壁，用于通入电解液；

电镀电极，设置在所述腔体内部。