[实用新型]一种用于晶圆对准的光学成像装置和晶圆对准系统

权利要求书

1.一种用于晶圆对准的光学成像装置，其特征在于，包括物镜组、分光镜、振镜、第一透镜和第二透镜；

所述物镜组聚焦视场的光线后透射；

所述分光镜从所述物镜组透射出的光线分出第一光线和第二光线；

所述第一光线为所述分光镜反射所述物镜组聚焦后透射的所述视场的光线，所述第二光线为所述分光镜透射所述物镜组聚焦后透射的所述视场的光线；

所述第一透镜透射所述第一光线，用于第一传感器接收所述第一光线；

所述第二透镜透射所述第二光线；

所述振镜反射所述第二透镜透射的所述第二光线；

所述第二透镜还用于透射所述振镜反射所述第二透镜透射的所述第二光线；

所述分光镜还用于反射所述第二透镜透射的所述振镜反射的所述第二光线，用于第二传感器接收所述第二光线。

2.根据权利要求1所述的光学成像装置，其特征在于，所述光学成像装置还包括双轴MEMS，用于调整所述振镜的反射角度。

3.一种晶圆对准系统，其特征在于，包括根据权利要求1至2任一项所述的光学成像装置。

4.一种晶圆对准系统，其特征在于，包括：

运动平台，可在X轴和Y轴移动并绕Z轴转动；

晶圆承片台，其被支撑在所述运动平台上，用于承载晶圆；

图像获取装置，设置于所述晶圆承片台上方，用于获取晶圆的整体图像和晶圆的边缘图像；

处理器，其与所述图像获取装置和所述运动平台耦接，用于对所述晶圆的整体图像进行处理，并计算出所述运动平台在X轴和Y轴移动的第一调节值和绕Z轴转动的第一角度，并将所述第一调节值和所述第一角度发送给所述运动平台，以控制所述运动平台移动；

所述处理器还用于对所述晶圆的边缘图像进行处理，并计算出所述运动平台在X轴和Y轴移动的第二调节值和绕Z轴转动的第二角度，将所述第二调节值和所述第二角度发送给所述运动平台，以控制所述运动平台移动。

5.根据权利要求4所述的晶圆对准系统，其特征在于，所述图像获取装置包括：

第一传感器，用于获取所述晶圆的整体图像；

第二传感器，用于获取所述晶圆的边缘图像；

所述第一传感器和所述第二传感器分别与所述处理器耦接，用于将所述晶圆的整体图像和所述晶圆的边缘图像发送给所述处理器。

6.根据权利要求5所述的晶圆对准系统，其特征在于，所述传感器包括CCD图像传感器和模数转换器；

所述CCD图像传感器用于获取光线并转化为模拟信号发送给所述模数转换器；

所述模数转换器用于将接收的所述CCD图像传感器发送的模拟信号转化为数字信号发送给所述处理器。

7.根据权利要求5所述的晶圆对准系统，其特征在于，所述图像获取装置还包括光学成像装置；

所述光学成像装置用于获取第一视场的光线和第二视场的光线，将所述第一视场的光线投射到所述第一传感器上，以获得所述晶圆的整体图像；

将所述第二视场的光线投射到所述第二传感器上，以获得所述晶圆的边缘图像。

8.根据权利要求7所述的晶圆对准系统，其特征在于，所述光学成像装置包括物镜组、分光镜和第三透镜；

所述物镜组对所述第一视场的光线进行对焦，对焦后的所述第一视场的光线到达所述分光镜；

所述分光镜反射对焦后的所述第一视场的光线；

所述第三透镜透射反射后的所述第一视场的光线，透射出的所述第一视场的光线到达所述第一传感器上。