[实用新型]一种卧式镀膜机及镀膜设备有效
申请号: | 201820705268.9 | 申请日: | 2018-05-11 |
公开(公告)号: | CN208455058U | 公开(公告)日: | 2019-02-01 |
发明(设计)人: | 徐志淮 | 申请(专利权)人: | 昆山彰盛奈米科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 孙辉 |
地址: | 215331 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 卧式镀膜机 进气结构 容纳空间 出气结构 镀膜室 镀膜设备 导流板 本实用新型 镀膜效果 机械设备 流体通道 可旋转 流道 分隔 连通 贯穿 | ||
1.一种卧式镀膜机,其特征在于,包括:
主体,所述主体具备第一容纳空间;
镀膜室,所述镀膜室可旋转地设置在所述第一容纳空间内;所述镀膜室上设置有多个贯穿的气孔;
进气结构和多个出气结构,所述进气结构和所述出气结构相对地设置在所述主体上以连通所述第一容纳空间;
导流板,所述导流板设置在第一容纳空间靠近是进气结构的一侧,以将从进气结构到出气结构的流体通道分隔为多个子流道。
2.根据权利要求1所述的卧式镀膜机,其特征在于:
所述镀膜室具有相对的长边和宽边,所述长边正对所述进气结构和所述出气结构。
3.根据权利要求1所述的卧式镀膜机,其特征在于:
所述镀膜室可水平转动地设置在所述第一容纳空间内。
4.根据权利要求1所述的卧式镀膜机,其特征在于:
所述气孔分布在所述镀膜室的长边方向。
5.根据权利要求4所述的卧式镀膜机,其特征在于:
靠近所述进气结构一侧的所述气孔与靠近所述出气结构一侧的所述气孔一一对应。
6.根据权利要求1所述的卧式镀膜机,其特征在于:
所述导流板包括N个间隔设置的板件,N个所述板件将所述流体通道分隔为N+1个子流道;
N为大于等于2的正整数。
7.根据权利要求1所述的卧式镀膜机,其特征在于:
多个所述出气结构均匀间隔地分布。
8.根据权利要求1所述的卧式镀膜机,其特征在于:
所述主体具有凸出部;
所述进气结构设置在所述凸出部上。
9.根据权利要求1所述的卧式镀膜机,其特征在于:
所述进气结构设置在所述主体上偏离所述镀膜室中心的一侧;
所述进气结构被配置为可以进行加热,以确保原料分子的有效通过速度。
10.一种镀膜设备,其特征在于:
所述镀膜设备包括控制装置和权利要求1-9中任一项所述的卧式镀膜机;所述控制装置与所述卧式镀膜机连接;
所述镀膜设备还包括设置在所述卧式镀膜机内的镀膜架;
产品串在所述镀膜架上滚动镀膜,确保不同位置膜厚均匀。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的