[实用新型]一种适用于砂轮划片机的主轴减振机构

说明书

一种适用于砂轮划片机的主轴减振机构，涉及半导体行业用划片机领域。该适用于砂轮划片机的主轴减振机构，将弹性阻尼件安装在主轴安装架的凹槽内，使弹性阻尼件与主轴安装架和安装板之间压紧贴合，利用弹性阻尼件既有高弹性又有高黏性的特点，以达到减振、减噪和缓冲的效果。

技术领域

本实用新型涉及半导体行业用划片机领域，特别涉及一种适用于砂轮划片机的主轴减振机构。

背景技术

砂轮划片机是综合了水气电、空气静压高速主轴、精密机械传动、传感器及自动化控制等技术的精密数控设备。其高速主轴的转速最高可达60000转/分钟，划片时，利用安装在主轴轴头上高速旋转的、厚度仅为0.025mm的超薄金刚石砂轮刀片，沿着大晶圆片上晶粒与晶粒间的切割线进行划切，划切轨迹不能偏离切割线，切割过后不能造成晶粒崩塌或裂痕等缺陷。其主要用于对硅集成电路、发光二极管、铌酸锂、压电陶瓷、砷化镓、蓝宝石、石英、玻璃、陶瓷及太阳能电池片等材料的精密划切加工。

砂轮划片机主轴是整机的关键执行部件，其振动过大会产生如下危害：（1）导致经砂轮划片机加工的产品的品质严重下降，甚至有可能损坏被加工件；（2）导致砂轮划片机主轴使用寿命下降；（3）导致砂轮划片机噪音过大等。因此，主轴减振是十分必要的，但是现有的国内外砂轮划片机大多采用的主轴减振的方式包括（1）提高部件加工精度；（2）增大主轴安装架的重量；（3）减小安装面的接触面积，这三种方式减振效果都不明显，且有增加结构的重量，增加对加工工艺的要求等缺陷。而纯粹的弹性阻尼减震，存在以下两点问题：1.由于变成了非刚性连接，难以精确调整主轴位置；2.长时间使用后，精度容易变化。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的是提供一种适用于砂轮划片机的主轴减振机构，该装置设计合理、结构简单，便于安装和维护。

本实用新型所采用的技术方案是：一种适用于砂轮划片机的主轴减振机构，其技术要点是，包括带有主轴安装孔、螺钉安装孔和凹槽的主轴安装架，在所述的凹槽内插接有弹性阻尼件，所述的弹性阻尼件略高于凹槽表面，且位于固定在一起的主轴安装架和安装板之间，主轴安装架固定在安装板上，砂轮划片机的主轴插接在主轴安装孔内。

上述方案中，螺钉通过主轴安装架上的螺钉安装孔后使主轴安装架与安装板连接在一起。

上述方案中，所述的弹性阻尼件为橡胶减振垫。

本实用新型的有益效果是： 该适用于砂轮划片机的主轴减振机构，将弹性阻尼件安装在主轴安装架的凹槽内，使弹性阻尼件与主轴安装架和安装板之间压紧贴合，利用弹性阻尼件既有高弹性又有高黏性的特点，以达到减振、减噪和缓冲的效果。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例中主轴安装架的主视图；

图2为本实用新型实施例中主轴安装架的左视图；

图3为本实用新型实施例中安装弹性阻尼后的安装架的结构示意图，（a）为主视图；（b）为左视图；

图4为本实用新型实施例中安装板与安装支架连接后的结构示意图；

图5 为本实用新型实施例中适用于砂轮划片机的主轴减振机构的总结构示意图；

图中序号说明如下： 1安装板、 2主轴安装架、2-1凹槽、2-2螺钉安装孔、2-3主轴安装孔、3主轴、4划片刀盘、5划片刀、6螺钉、7弹性阻尼件。

具体实施方式