[实用新型]一种真空蒸发镀膜载体有效
| 申请号： | 201820403055.0 | 申请日： | 2018-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN208346247U | 公开（公告）日： | 2019-01-08 |
| 发明（设计）人： | 陈珂珩 | 申请（专利权）人： | 苏州瑞康真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 上海宣宜专利代理事务所(普通合伙) 31288 | 代理人： | 刘君 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 镀材料 真空蒸发镀膜 镀料 凹陷结构 本实用新型 工作效率 石墨坩埚 平面的 上表面 挥发 吸附 溢出 保证 | ||
1.一种真空蒸发镀膜载体，其包括真空蒸发镀膜载体的本体（1），其特征在于：真空蒸发镀膜载体的本体（1）具有上表面（11）和下表面（12）两个表面，上表面（11）上具有凸起边缘（111）、斜坡面（112）、凹陷区（113），其中凹陷区（113）位于最中间，斜坡面（112）位于凹陷区（113）的周围一圈，凸起边缘（111）位于斜坡面（112）的周围一圈。
2.如权利要求1所述的真空蒸发镀膜载体，其特征在于：下表面（12）也具有凸起边缘、斜坡面和凹陷区，凹陷区位于最中间位置，斜坡面位于凹陷区的周围一圈，凸起边缘位于斜坡面的周围一圈。
3.如权利要求1所述的真空蒸发镀膜载体，其特征在于：真空蒸发镀膜载体的本体（1）为圆柱体。
4.如权利要求1所述的真空蒸发镀膜载体，其特征在于：凸起边缘（111）为环形，其环形的外圆直径为12mm～25mm，内圆直径为10mm～24mm，环形的外圆直径比内圆直径大1mm～2mm。
5.如权利要求1所述的真空蒸发镀膜载体，其特征在于：斜坡面（112）与水平面的夹角为75°～90°。
6.如权利要求1所述的真空蒸发镀膜载体，其特征在于：凹陷区（113）为圆形，其直径为9mm～23mm。
7.如权利要求1所述的真空蒸发镀膜载体，其特征在于：真空蒸发镀膜载体的本体（1）由黄铜颗粒经过高温烧结而成。
8.如权利要求7所述的真空蒸发镀膜载体，其特征在于：黄铜颗粒的粒径为0.01mm～0.1mm。
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