[实用新型]一种新型蒸发镀膜治具有效

专利信息
申请号: 201820386905.0 申请日: 2018-03-21
公开(公告)号: CN208038549U 公开(公告)日: 2018-11-02
发明(设计)人: 钱军 申请(专利权)人: 爱发科真空技术(苏州)有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C14/24
代理公司: 北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 代理人: 刘宪池
地址: 215000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 手臂 回转圆环 回转装置 轮子 镀锅 本实用新型 镀膜机真空 驱动机构 蒸发镀膜 连接件 治具 轨道 真空镀膜设备 螺栓 固定手臂 连接固定 平均分布 腔体内部 生产效率 水平旋转 悬挂安装 回转轴 自适应 上端 回转 可动 腔体 下端 体内 驱动
【权利要求书】:

1.一种新型蒸发镀膜治具,安装在镀膜机真空腔体内部上方,其特征在于,包括:轨道、连接件、回转装置和四个镀锅;所述轨道通过所述连接件悬挂安装在镀膜机真空腔体内上部;所述回转装置设置在所述轨道上,回转装置包括驱动机构、回转圆环、四个轮子和四个手臂,驱动机构位于回转圆环上方且驱动回转圆环水平旋转,四个手臂平均分布在回转圆环上,手臂上端与回转圆环连接,手臂下端设置有轮子;四个镀锅分别通过回转轴安装在四个轮子上,轮子回转时带动镀锅旋转;所述四个手臂中有一个手臂为可动自适应的调节手臂,其余三个手臂为固定手臂,调节手臂上端与所述回转圆环可调连接,固定手臂上端与回转圆环固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种新型蒸发镀膜治具,其特征在于:所述回转圆环上表面设置有固定块,所述调节手臂的上端部通过销子与固定块可动连接,销子穿过调节手臂与固定块;所述调节手臂与所述回转圆环之间留有空隙,调节手臂与回转圆环之间还通过设有弹簧的螺栓压紧连接,弹簧上端抵在螺栓的螺帽上,弹簧下端抵在所述调节手臂上。

3.根据权利要求2所述的一种新型蒸发镀膜治具,其特征在于:所述销子上插有扣销,扣销位于固定块和调节手臂之间。

4.根据权利要求2所述的一种新型蒸发镀膜治具,其特征在于:所述弹簧上设有两个垫片,一个垫片位于弹簧与螺帽之间,另一个垫片位于弹簧与调节手臂之间。

5.根据权利要求2所述的一种新型蒸发镀膜治具,其特征在于:所述螺栓有两个,两个螺栓垂直于销子的轴线。

6.根据权利要求2所述的一种新型蒸发镀膜治具,其特征在于:所述回转圆环上对应所述调节手臂的局部位置呈直线型。

7.根据权利要求1或2所述的一种新型蒸发镀膜治具,其特征在于:所述固定手臂位于所述回转圆环的下方。

8.根据权利要求1或2所述的一种新型蒸发镀膜治具,其特征在于:所述固定手臂通过螺丝固定在所述回转圆环上。

9.根据权利要求1所述的一种新型蒸发镀膜治具,其特征在于:所述连接件包括两根横杆和四根竖杆,两根横杆固定在所述镀膜机真空腔体内上表面,四根竖杆垂直于所述轨道,竖杆上端与横杆固定连接,竖杆下端与轨道固定连接;每根横杆上对应固定有两根竖杆。

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