[实用新型]一种基片装夹装置有效
| 申请号： | 201820285583.0 | 申请日： | 2018-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN208054442U | 公开（公告）日： | 2018-11-06 |
| 发明（设计）人： | 刘旭 | 申请（专利权）人： | 北京创昱科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人： | 周放;张应 |
| 地址： | 102299 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 通孔 压片 阻挡件 本实用新型 装夹装置 载板 溅射材料 驱动机构 相对两侧 基座轴 溅射源 侧围 压装 穿过 驱动 应用 | ||
1.一种基片装夹装置，所述基片装夹装置包括：
设置在载板上的基座，所述基座与溅射源位于所述载板的相对两侧；
与所述基座轴连接的压片，且所述压片用于将基片压装在所述载板上；
设置在载板的远离基座的一侧的驱动机构，压片处的载板上设置有通孔，所述驱动机构穿过所述通孔，且用于驱动所述压片旋转；
其特征在于，所述基片装夹装置还包括：
阻挡件，所述阻挡件位于所述基片与所述通孔之间，且所述阻挡件设置在所述压片与所述载板之间。
2.根据权利要求1所述的基片装夹装置，其特征在于，所述阻挡件包括方形的阻挡块，当所述压片将基片压装在所述载板上时，所述阻挡块与所述压片和/或所述载板相贴。
3.根据权利要求1所述的基片装夹装置，其特征在于，所述阻挡件为所述压片上的凸起和/或所述载板上的凸起。
4.根据权利要求3所述的基片装夹装置，其特征在于，所述载板和/或所述压片上设有与所述压片上的凸起和/或所述载板上的凸起对应的容纳槽，当所述压片将所述基片压装在所述载板上时，所述凸起伸入所述容纳槽，且与所述容纳槽底部相贴。
5.根据权利要求1所述的基片装夹装置，其特征在于，所述压片上与所述基片的接触处设置有压装凸部，所述压装凸部用于与基片接触，并将所述基片压装在所述载板上。
6.根据权利要求5所述的基片装夹装置，其特征在于，所述阻挡件的高度大于所述基片的厚度。
7.根据权利要求1所述的基片装夹装置，其特征在于，所述压片上与基片的接触处设置有压装凹台，所述压装凹台与所述基片接触，并将所述基片压装在所述载板上。
8.根据权利要求1所述的基片装夹装置，其特征在于，所述驱动机构包括连接的动力机与推动杆，所述推动杆穿过所述通孔，且用于驱动所述压片旋转。
9.根据权利要求8所述的基片装夹装置，其特征在于，所述驱动机构还包括转接板，所述动力机通过所述转接板与所述推动杆连接，且所述转接板可与多个推动杆连接。
10.根据权利要求1-9任一项所述的基片装夹装置，其特征在于，所述压片与所述基座之间还设置有扭簧。
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