[实用新型]一种高容量过渡金属氮化物涂层电极有效
| 申请号： | 201820249632.5 | 申请日： | 2018-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN207909719U | 公开（公告）日： | 2018-09-25 |
| 发明（设计）人： | 荣铭聪 | 申请（专利权）人： | 广州大学 |
| 主分类号： | H01G11/30 | 分类号： | H01G11/30;C23C14/32;C23C14/16;C23C14/06;C23C14/02;C23C14/58 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫 |
| 地址： | 510000 广东省广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 涂层电极 过渡金属氮化物 本实用新型 沉积 表面功能层 超级电容器 高容量 过渡层 结合层 制备 超级电容器电极 导电性 过渡层表面 化学稳定性 表面沉积 方法实施 基体表面 阴极电弧 蒸发沉积 制造成本 高储能 制作 应用 | ||
【权利要求书】：
1.一种高容量过渡金属氮化物涂层电极，其特征在于：包括基体、沉积于所述基体表面的Cr结合层、沉积于所述Cr结合层表面的MeN过渡层以及沉积于所述MeN过渡层表面的MeXN表面功能层；所述MeN过渡层的Me为Ti、Cr、Zr或Hf；所述MeXN表面功能层的Me为Ti、Cr、Zr或Hf，X为Ni、Cu或Ag。
2.如权利要求1所述的高容量过渡金属氮化物涂层电极，其特征在于：所述基体为Cu箔基体。
3.如权利要求1或2所述的高容量过渡金属氮化物涂层电极，其特征在于：所述MeXN表面功能层设有经化学刻蚀而成的疏松多孔结构。
4.如权利要求3所述的高容量过渡金属氮化物涂层电极，其特征在于：所述MeXN表面功能层的厚度为50～1000nm。
5.如权利要求1所述的高容量过渡金属氮化物涂层电极，其特征在于：所述Cr结合层和所述MeN过渡层为采用阴极电弧蒸发沉积而成。
6.如权利要求1所述的高容量过渡金属氮化物涂层电极，其特征在于：所述MeXN表面功能层为采用阴极电弧蒸发，共沉积而成。
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