[实用新型]用于标定光学终点检测模块的工装

说明书

本实用新型公开了一种用于标定光学终点检测模块的工装，所述工装包括：托盘，光学终点检测模块设在托盘上，沿着托盘的周向上多个固定孔间隔开排布；多个支脚，分别与固定孔螺纹连接，且通过支脚上的固定件锁死；上盘，设在托盘上，上盘朝向托盘的一侧设有腔室，光学终点检测模块容纳在腔室内，上盘设有第一透光区域；抛光垫，设在上盘上表面，抛光垫上设有第二透光区域，第一透光区域和第二透光区域的位置对应布置以使得出射光线通过第一透光区域和第二透光区域射出。根据本实用新型的用于标定光学终点检测模块的工装，可调整出光角度，机械加工精度要求较低，加工周期短，造价低，可线下检测标定，拆装简单，可一次性装入CMP抛光盘内，可实现量产化。

技术领域

本实用新型涉及抛光技术领域，更具体地，涉及一种用于标定光学终点检测模块的工装。

背景技术

相关技术中，对光学终点检测模块的安装标定方式主要有两种，其中一种是根据CMP(化学机械抛光)抛光盘的窗口位置、光学终点检测模块的安装位置以及高度等尺寸计算出理论的光学终点检测模块的出射角度，从而安装到CMP抛光盘内进行后续检测标定，机械加工精确度和误差控制的要求高，加工成本高，加工周期长；另一种是直接安装到CMP抛光盘内，根据出光情况，拆下CMP抛光盘内的光学终点检测模块进行调节，直到达到要求后再放入抛光盘内，对操作人员的专业技能要求高，对模块做调整需要多次拆卸抛光盘，效率低，费时费力。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。

为此，本实用新型提出一种用于标定光学终点检测模块的工装，所述工装拆装简单，节约生产成本。

根据本实用新型的用于标定光学终点检测模块的工装，所述光学终点检测模块设在所述工装内以调整所述光学终点检测模块的出光角度，所述工装包括：托盘，所述光学终点检测模块设在所述托盘上，沿着所述托盘的周向上多个固定孔间隔开排布；多个支脚，多个所述支脚分别与所述固定孔螺纹连接，且通过所述支脚上的固定件锁死固定在所述托盘的下表面上以调平所述托盘；上盘，所述上盘设在所述托盘上，所述上盘朝向所述托盘的一侧设有腔室，所述光学终点检测模块容纳在所述腔室内，所述上盘设有第一透光区域；抛光垫，所述抛光垫设在所述上盘的上表面，所述抛光垫上设有第二透光区域，所述第一透光区域和所述第二透光区域的位置对应布置以使得所述光学终点检测模块的出射光线通过所述第一透光区域和所述第二透光区域射出。

根据本实用新型的用于标定光学终点检测模块的工装，通过利用该工装模拟光学终点检测模块的安装、检测标定的情况，可用于调整光学终点检测模块的出光角度，对光学终点检测模块的机械加工精度要求较低，加工周期短，造价低，可在线下对光学终点检测模块的光线强度进行检测标定，可反复调试检测，拆装简单，此外，在线下检测标定成功后，可一次性装入CMP抛光盘内，节省了操作步骤，可用做量产标定光学终点检测模块。

根据本实用新型的一个实施例，所述光学终点检测模块固定在所述托盘的与所述腔室对应的位置上，所述腔室形成为与所述光学终点检测模块相配合的形状。

根据本实用新型一个可选的示例，所述腔室的壁面与所述光学终点检测模块之间的间隙最小不超过5mm。

根据本实用新型的另一个实施例，所述第一透光区域为透过孔。

根据本实用新型的又一个实施例，所述第一透光区域为滤光片。

根据本实用新型的再一个实施例，所述光学终点检测模块的出射光线与所述第二透光区域边沿的距离为L，其中1mm≤L≤2mm。

根据本实用新型可选的实施例，所述抛光垫粘贴在所述上盘的上表面上，所述抛光垫的上表面设有不同材质的晶圆。

进一步地，所述托盘、所述上盘和所述抛光垫均为圆形。

可选地，所述托盘上设有适于所述光学终点检测装置的连接线穿过的通孔。