[实用新型]玻璃基板翘曲度测量仪用的定位装置

说明书

本公开涉及一种玻璃基板翘曲度测量仪用的定位装置，该定位装置包括用于承载待测量玻璃基板的定位平台，以及设置于该定位平台上的第一定位结构和第二定位结构，该第一定位结构用于定位待测量玻璃基板的第一边缘，该第二定位结构用于定位待测量玻璃基板的与该第一边缘相垂直的第二边缘，第一定位结构具有沿垂直于第一边缘的方向伸缩的第一伸缩端，第二定位结构具有沿垂直于第二边缘的方向伸缩的第二伸缩端。因此，通过第一伸缩件和第二伸缩件的伸缩功能，在对待测量玻璃基板进行接触定位后，能脱离对待测量玻璃基板的接触，以保证玻璃基板翘曲度测量过程免受定位装置的干涉影响，提高测量结果的真实性，降低翘曲度重复测量的频次，提高检验效率。

技术领域

本公开涉及玻璃基板测量定位领域，具体地，涉及一种玻璃基板翘曲度测量仪用的定位装置。

背景技术

目前在高次代玻璃基板的生产过程中，因玻璃基板尺寸大，为保证玻璃基板平整度，大都在生产过程中会检测玻璃基板的整板翘曲；目前玻璃基板翘曲度测量仪使用的定位块为位置固定的矩形块，在玻璃基板翘曲度测量的过程中，该正在测量中的玻璃基板会与定位块接触并产生挤压，从而导致该玻璃基板局部变形影响测量结果的真实性。

实用新型内容

本公开的目的是提供一种玻璃基板翘曲度测量仪用的定位装置，该定位装置可以提高翘曲度测量结果的真实性。

为了实现上述目的，本公开提供一种玻璃基板翘曲度测量仪用的定位装置，该定位装置包括用于承载待测量玻璃基板的定位平台，以及设置于该定位平台上的第一定位结构和第二定位结构，该第一定位结构用于定位所述待测量玻璃基板的第一边缘，该第二定位结构用于定位所述待测量玻璃基板的与该第一边缘相垂直的第二边缘，并且所述第一定位结构具有沿垂直于所述第一边缘的方向伸缩的第一伸缩端，所述第二定位结构具有沿垂直于所述第二边缘的方向伸缩的第二伸缩端。

可选地，所述第一定位结构包括用于固定到所述定位平台上的第一连接座，以及安装到该第一连接座上的第一伸缩件，该第一伸缩件具有所述第一伸缩端，所述第二定位结构包括用于固定到所述定位平台上的第二连接座，以及安装到该第二连接座上的第二伸缩件，该第二伸缩件具有所述第二伸缩端。

可选地，所述第一伸缩件和所述第二伸缩件的结构相同，所述第一连接座和所述第二连接座的结构相同。

可选地，所述第一伸缩件和所述第二伸缩件均形成为伸缩气缸或电动缸，所述伸缩气缸和所述电动缸的伸缩杆的端部作为所述第一伸缩端和所述第二伸缩端。

可选地，所述第一伸缩件和所述第二伸缩件的外壳均形成为贴合于所述定位平台上的正六面体，所述第一连接座和所述第二连接座均形成为具有水平板和竖直板的L型连接板，该水平板可拆卸地连接到所述定位平台上，并且该水平板贴合所述定位平台设置，该竖直板可拆卸地连接到正六面体对应的一个平面上，并且该竖直板贴合所述正六面体的平面设置。

可选地，所述正六面体的各个平面的垂度小于或等于0.3mm，所述正六面体的各个平面的平整度小于或等于0.01mm，所述L型连接板的垂度小于或等于0.3mm，所述L型连接板的平整度小于或等于0.01mm。

可选地，所述定位平台上形成有向下凹陷的凹槽，所述第一定位结构和所述第二定位结构设置在所述凹槽中。

可选地，所述定位平台上沿平行于所述第二边缘的方向间隔设置有多根凸棱，以在相邻的所述凸棱之间形成有凹陷区，并且每个凸棱沿平行于所述第一边缘的方向延伸，所述凹槽位于所述凹陷区内。

可选地，所述第一伸缩端和所述第二伸缩端均设置有接触垫块，并且该接触垫块的硬度小于所述定位平台的硬度。

可选地，所述第一定位结构具有沿平行于所述第一边缘的方向间隔设置的两个，所述第二定位结构具有沿平行于所述第二边缘的方向间隔设置的两个。