[实用新型]玻璃基板翘曲度测量仪用的定位装置

权利要求书

1.一种玻璃基板翘曲度测量仪用的定位装置，其特征在于，包括用于承载待测量玻璃基板的定位平台(1)，以及设置于该定位平台(1)上的第一定位结构(11)和第二定位结构(12)，该第一定位结构(11)用于定位所述待测量玻璃基板的第一边缘，该第二定位结构(12)用于定位所述待测量玻璃基板的与该第一边缘相垂直的第二边缘，并且所述第一定位结构(11)具有沿垂直于所述第一边缘的方向伸缩的第一伸缩端(110)，所述第二定位结构(12)具有沿垂直于所述第二边缘的方向伸缩的第二伸缩端(120)。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板翘曲度测量仪用的定位装置，其特征在于，所述第一定位结构(11)包括用于固定到所述定位平台(1)上的第一连接座(111)，以及安装到该第一连接座(111)上的第一伸缩件(112)，该第一伸缩件(112)具有所述第一伸缩端(110)，所述第二定位结构(12)包括用于固定到所述定位平台(1)上的第二连接座(121)，以及安装到该第二连接座(121)上的第二伸缩件(122)，该第二伸缩件(122)具有所述第二伸缩端(120)。

3.根据权利要求2所述的玻璃基板翘曲度测量仪用的定位装置，其特征在于，所述第一伸缩件(112)和所述第二伸缩件(122)的结构相同，所述第一连接座(111)和所述第二连接座(121)的结构相同。

4.根据权利要求3所述的玻璃基板翘曲度测量仪用的定位装置，其特征在于，所述第一伸缩件(112)和所述第二伸缩件(122)均形成为伸缩气缸或电动缸，所述伸缩气缸和所述电动缸的伸缩杆的端部作为所述第一伸缩端(110)和所述第二伸缩端(120)。

5.根据权利要求3所述的玻璃基板翘曲度测量仪用的定位装置，其特征在于，所述第一伸缩件(112)和所述第二伸缩件(122)的外壳均形成为贴合于所述定位平台(1)上的正六面体，所述第一连接座(111)和所述第二连接座(121)均形成为具有水平板(13)和竖直板(14)的L型连接板，该水平板(13)可拆卸地连接到所述定位平台(1)上，并且该水平板(13)贴合所述定位平台(1)设置，该竖直板(14)可拆卸地连接到正六面体对应的一个平面上，并且该竖直板(14)贴合所述正六面体的平面设置。

6.根据权利要求5所述的玻璃基板翘曲度测量仪用的定位装置，其特征在于，所述正六面体的各个平面的垂度小于或等于0.3mm，所述正六面体的各个平面的平整度小于或等于0.01mm，所述L型连接板的垂度小于或等于0.3mm，所述L型连接板的平整度小于或等于0.01mm。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的玻璃基板翘曲度测量仪用的定位装置，其特征在于，所述定位平台(1)上形成有向下凹陷的凹槽(15)，所述第一定位结构(11)和所述第二定位结构(12)设置在所述凹槽(15)中。

8.根据权利要求7所述的玻璃基板翘曲度测量仪用的定位装置，其特征在于，所述定位平台(1)上沿平行于所述第二边缘的方向间隔设置有多根凸棱(16)，以在相邻的所述凸棱(16)之间形成有凹陷区(17)，并且每个凸棱(16)沿平行于所述第一边缘的方向延伸，所述凹槽(15)位于所述凹陷区(17)内。

9.根据权利要求1至6中任一项所述的玻璃基板翘曲度测量仪用的定位装置，其特征在于，所述第一伸缩端(110)和所述第二伸缩端(120)均设置有接触垫块(18)，并且该接触垫块(18)的硬度小于所述定位平台(1)的硬度。

10.根据权利要求1至6中任一项所述的玻璃基板翘曲度测量仪用的定位装置，其特征在于，所述第一定位结构(11)具有沿平行于所述第一边缘的方向间隔设置的两个，所述第二定位结构(12)具有沿平行于所述第二边缘的方向间隔设置的两个。