[实用新型]一种高质量氧化铝真空镀膜装置

说明书

本实用新型公开了一种高质量氧化铝真空镀膜装置，包括真空箱、下侧箱和搅匀装置，所述真空箱内部设有镀膜鼓,镀膜鼓上缠绕有PET基材，所述下侧箱和真空箱之间设有隔板且隔板上配合PET基材设有开槽口，开槽口下端设有导管，导管底部设有蒸发舟,导管左侧穿插有氧气输送管,导管右侧穿插有氮气输送管，所述搅匀装置设置在导管内部，搅匀装置表面设有光滑防附着材料。本实用新型高质量氧化铝真空镀膜装置，搅匀杆转动后可提高铝和氧气与氮气的混合效果，促进氧气和铝反应生成氧化铝，具有生产效率高、质量高等优点。

技术领域

本实用新型涉及一种氧化铝真空镀膜装置，具体是一种高质量氧化铝真空镀膜装置。

背景技术

在真空环境中，将材料加热并镀到基片上的技术为真空蒸镀。具体而言，真空蒸镀是将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华，使之在工件或基片表面析出的过程。真空蒸镀中的金属镀层通常为铝膜，但其它金属也可通过蒸发沉积形成。随着我国电解铝、陶瓷、医药、电子、机械等行业的快速发展，市场对氧化铝需求量仍有较大的增长空间，氧化铝产量将会不断增长。

目前使用的镀膜装置存在结构复杂导致镀膜质量低、效率差的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种高质量氧化铝真空镀膜装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种高质量氧化铝真空镀膜装置，包括真空箱、下侧箱和搅匀装置，所述真空箱设置在装置主体的顶部内侧，真空箱右侧设有抽管,抽管上端连接有抽真空机,抽真空机左侧固定在装置主体的外壁上，真空箱内部设有镀膜鼓,镀膜鼓上缠绕有PET基材，所述下侧箱设置在真空箱下端装置主体的内部，下侧箱和真空箱之间设有隔板且隔板上配合PET基材设有开槽口，开槽口右侧隔板上设有空腔，空腔内部穿插有限流挡板,限流挡板右侧设有推杆，推杆右侧穿插通过装置主体的右侧壁，开槽口下端设有导管,导管设置在下侧箱内部，导管底部设有蒸发舟,导管左侧穿插有氧气输送管,氧气输送管左侧连接有氧气输送连接管,导管右侧穿插有氮气输送管，氮气输送管右侧连接有氮气输送连接管，所述搅匀装置设置在导管内部，搅匀装置表面设有光滑防附着材料，搅匀装置上设有转轴,转轴通过固定架固定在导管的内部上，固定架设置有两个且通过限位套管固定在转轴上，转轴上设有阵列分布的搅匀杆，转轴下端设有叶轮,转轴的轴杆中心位置处设有第一锥形齿,第一锥形齿右侧啮合有第二锥形齿，第二锥形齿固定在转动轴，转动轴右侧穿插通过导管,转动轴和导管之间通过轴承固定，转动轴右端设有第三锥形齿,第三锥形齿上端啮合有第四锥形齿,第四锥形齿上端固定在伺服电机的输出轴上，伺服电机固定在导管上。

作为本实用新型进一步的方案：所述推杆上设有刻度线。

作为本实用新型再进一步的方案：所述推杆和限流挡板之间设有活塞。

作为本实用新型再进一步的方案：所述导管的内腔设置成上端直径大下端直径小的圆台状。

作为本实用新型再进一步的方案：所述氮气输送管和氧气输送管上都设有流量控制阀。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型高质量氧化铝真空镀膜装置，装置工作时，蒸发舟将铝丝加热蒸发后进入到导管内部，氧气输送连接管外链接供氧装置和氮气输送连接管外链接供氮装置利用氧气输送管和氮气输送管向导管内部注入氧气和氮气，启动伺服电机,伺服电机通过第四锥形齿啮合第三锥形齿与第二锥形齿啮合第一锥形齿以及转动轴带动转轴,转轴带动搅匀杆和叶轮转动，搅匀杆转动后可提高铝和氧气与氮气的混合效果，促进氧气和铝反应生成氧化铝，氧化铝随气流蒸镀于镀膜鼓的PET基材上，具有生产效率高、质量高等优点，同时叶轮的设置便于促进蒸发后的铝向上运动，限流挡板横插在导管内部的长度可便于调整氧化铝和PET基材的接触面积。

附图说明