[实用新型]一种高质量氧化铝真空镀膜装置

权利要求书

1.一种高质量氧化铝真空镀膜装置，包括真空箱(2)、下侧箱(5)和搅匀装置(12)，其特征在于，所述真空箱(2)设置在装置主体(1)的顶部内侧，真空箱(2)右侧设有抽管(15),抽管(15)上端连接有抽真空机(16),抽真空机(16)左侧固定在装置主体(1)的外壁上，真空箱(2)内部设有镀膜鼓(4),镀膜鼓(4)上缠绕有PET基材(3)，所述下侧箱(5)设置在真空箱(2)下端装置主体(1)的内部，下侧箱(5)和真空箱(2)之间设有隔板且隔板上配合PET基材(3)设有开槽口，开槽口右侧隔板上设有空腔，空腔内部穿插有限流挡板(13),限流挡板(13)右侧设有推杆(14)，推杆(14)右侧穿插通过装置主体(1)的右侧壁，开槽口下端设有导管(6),导管(6)设置在下侧箱(5)内部，导管(6)底部设有蒸发舟(9),导管(6)左侧穿插有氧气输送管(8),氧气输送管(8)左侧连接有氧气输送连接管(7),导管(6)右侧穿插有氮气输送管(10)，氮气输送管(10)右侧连接有氮气输送连接管(11)，所述搅匀装置(12)设置在导管(6)内部，搅匀装置(12)表面设有光滑防附着材料，搅匀装置(12)上设有转轴(122),转轴(122)通过固定架(123)固定在导管(6)的内部上，固定架(123)设置有两个且通过限位套管固定在转轴(122)上，转轴(122)上设有阵列分布的搅匀杆(121)，转轴(122)下端设有叶轮(126),转轴(122)的轴杆中心位置处设有第一锥形齿(124),第一锥形齿(124)右侧啮合有第二锥形齿(125)，第二锥形齿(125)固定在转动轴(127)，转动轴(127)右侧穿插通过导管(6),转动轴(127)和导管(6)之间通过轴承固定，转动轴(127)右端设有第三锥形齿(128),第三锥形齿(128)上端啮合有第四锥形齿(129),第四锥形齿(129)上端固定在伺服电机(130)的输出轴上，伺服电机(130)固定在导管(6)上。

2.根据权利要求1所述的一种高质量氧化铝真空镀膜装置，其特征在于，所述推杆(14)上设有刻度线。

3.根据权利要求1所述的一种高质量氧化铝真空镀膜装置，其特征在于，所述推杆(14)和限流挡板(13)之间设有活塞。

4.根据权利要求1所述的一种高质量氧化铝真空镀膜装置，其特征在于，所述导管(6)的内腔设置成上端直径大下端直径小的圆台状。

5.根据权利要求1所述的一种高质量氧化铝真空镀膜装置，其特征在于，所述氮气输送管(10)和氧气输送管(8)上都设有流量控制阀。