[发明专利]一种太阳电池互连片防原子氧侵蚀的方法及银镀金太阳电池互连片在审
| 申请号： | 201811614413.3 | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN109786490A | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 李小利;刘汉英;郝晓丽;许峰;许军;欧伟;孙希鹏 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十八研究所 |
| 主分类号： | H01L31/05 | 分类号： | H01L31/05;C23C14/16;C23C14/30 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 刘昕 |
| 地址： | 300384 天津市滨海*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 银箔 互连片 蒸镀 原子氧侵蚀 溶剂清洗 镀金层 镀金 优选 电子束真空 丙酮清洗 镀金材料 膜厚均匀 乙酸乙酯 致密性好 迎风面 原子氧 基底 金膜 银基 清洗 损伤 | ||
【权利要求书】：
1.一种太阳电池互连片防原子氧侵蚀的方法，其特征在于：包括以银箔为互连片基底，使用电子束真空蒸镀的方法在所述银箔的两面蒸镀金层。
2.根据权利要求1所述的太阳电池互连片防原子氧侵蚀的方法，其特征在于：还包括在对所述银箔的两面蒸镀金之前使用溶剂清洗所述银箔的表面。
3.根据权利要求2所述的太阳电池互连片防原子氧侵蚀的方法，其特征在于：使用溶剂清洗所述银箔的表面包括：使用乙酸乙酯清洗所述银箔的表面，然后使用丙酮清洗所述银箔的表面。
4.根据权利要求1-3任一所述的太阳电池互连片防原子氧侵蚀的方法，其特征在于：所述电子束真空蒸镀使用的电子束蒸发源选择e型电子枪。
5.根据权利要求1-4任一所述的太阳电池互连片防原子氧侵蚀的方法，其特征在于：在所述银箔的表面蒸镀金层厚度为2μm-5μm。
6.根据权利要求1-5任一所述的太阳电池互连片防原子氧侵蚀的方法，其特征在于：所述电子束真空蒸镀过程的蒸发速率为
7.使用如权利要求1-6任一所述的太阳电池互连片防原子氧侵蚀的方法处理得到的银镀金太阳电池互连片。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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