[发明专利]一种新型阳极筒阵列的溅射离子泵

权利要求书

1.一种新型阳极筒阵列的溅射离子泵，其特征在于，包括壳体、高压电极、阴极板和阳极筒阵列，所述壳体顶部设置有进气口，壳体的左右两侧分别安装有磁铁，所述阳极筒阵列绝缘地安装于壳体内部，且阳极筒阵列两侧分别设置有阴极板，所述高压电极与进气口固定装配，其正电位与阳极筒阵列相连，零电位分别与两个阴极板相连，阴极板与阳极筒阵列之间构成用于抽除气体的腔室，所述阳极筒阵列由多组阳极筒组成，距离进气口越近的阳极筒，半径越大，高度越低，阳极筒上下表面与阴极板之间的间隙越大，距离进气口越远的阳极筒，半径越小，高度越高，阳极筒上下表面与阴极板之间的间隙越小。

2.根据权利要求1所述的一种新型阳极筒阵列的溅射离子泵，其特征在于，所述高压电极与外部直流电源相连，为离子泵提供3000V到7000V的高压，且电压可以调节。

3.根据权利要求1所述的一种新型阳极筒阵列的溅射离子泵，其特征在于，所述阴极板为矩形平面板状结构，其材质主要为钛。

4.根据权利要求1所述的一种新型阳极筒阵列的溅射离子泵，其特征在于，所述阴极板靠近阳极筒阵列一侧的表面镀有钽膜，所述钽膜的厚度为1微米到10微米。

5.根据权利要求1所述的一种新型阳极筒阵列的溅射离子泵，其特征在于，所述壳体为矩形柱体结构，其材质主要为316不锈钢。

6.根据权利要求1所述的一种新型阳极筒阵列的溅射离子泵，其特征在于，所述进气口为筒状管道结构，其材质主要为316不锈钢。

7.根据权利要求1所述的一种新型阳极筒阵列的溅射离子泵，其特征在于，所述磁铁采用矩形柱体结构，其材质主要为铁氧体。

8.根据权利要求1所述的一种新型阳极筒阵列的溅射离子泵，其特征在于，所述阳极筒的截面呈圆形或多边形。