[发明专利]刻蚀机零件存放装置在审
申请号: | 201811451992.4 | 申请日: | 2018-11-30 |
公开(公告)号: | CN109461687A | 公开(公告)日: | 2019-03-12 |
发明(设计)人: | 段波;孙红彬;陶龙忠;杨灼坚;李静;沙泉;唐福云;卢佩良;李宁;王枫;高东坡;王银;蔡振华 | 申请(专利权)人: | 江苏润阳悦达光伏科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/67;H01L31/18 |
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地址: | 224000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 挂槽 刻蚀机 零件存放 固定板 滚轮轴 腐蚀性液体 处理单元 滴落 柜体 积液 太阳能光伏电池 等间距排列 悬挂 储物抽屉 方便移动 放置工具 柜体顶部 滑轨移动 科学管理 刻蚀技术 条形隔板 维修保养 可移动 刻蚀 排出 储存 | ||
本发明提供一种刻蚀机零件存放装置,涉及太阳能光伏电池刻蚀技术领域,该刻蚀机零件存放装置包括一可移动的柜体、挂槽、固定板以及积液处理单元,其中,挂槽设于该柜体顶部,滚轮轴悬挂于该挂槽上,并沿该挂槽上的滑轨移动;固定板包括多个等间距排列的条形隔板,该固定板对应设置于挂槽下方,固定悬挂于该挂槽上的该滚轮轴;积液处理单元收集滚轮轴上滴落的腐蚀性液体并将其排出柜体外,该装置还包括多个储物抽屉,便于放置工具。本发明的刻蚀机零件存放装置在维修保养刻蚀机时,能够存放、储存刻蚀机零件,同时收集零件滴落的腐蚀性液体,同时方便移动,便于科学管理。
技术领域
本发明涉及太阳能光伏电池刻蚀技术领域,尤其涉及一种刻蚀机零件存放装置。
背景技术
近年来,太阳能光伏发电技术不断进步,生产成本不断降低,转换效率不断提高,使得光伏发电的应用日益普及并迅猛发展,逐步成为电力供应的重要来源。
太阳能电池刻蚀抛光工艺是太阳能高效电池制造工艺中至关重要的一步,对成品电池片的电性能以及EL良率有着重大的影响,刻蚀后硅片背面反射率的均匀性决定了背钝化镀膜的均匀性,镀膜的均匀性决定了激光开孔率及大小的均匀性,在此过程中,当硅片进入刻蚀机后,滚轮轴随着刻蚀机启动时滚轮轴便开始转动,通过滚轮轴来实现每一片硅片匀速、平稳的通过刻蚀机,使每一片硅片达到最佳的刻蚀效果,因此,滚轮轴的工作环境是长期浸泡在强酸或强碱的药液里面做匀速运转,当刻蚀机的滚轮轴出现故障时,会导致硅片间距不均匀、压碎硅片、叠片等故障,严重时甚至会导致刻蚀机堵片停机维修。现有技术中,刻蚀机在维修保养时,先在地上铺一块或者多块PP板,然后将拆卸下来的滚轮轴和零件平放在上述PP板上,导致滚轮轴调校需要很长时间,散落的零件放在地上影响美观、占用空间、造成安全事故、甚至外界压力(人为或非人为)会导致滚轮轴弯曲变形而直接报废。
发明内容
有鉴于此,本发明的目的是解决上述现有技术的不足,提供一种解决当刻蚀机维修保养时,从刻蚀机拆卸下来的滚轮轴与其它零件的存放问题的装置。
本发明解决上述现有技术的不足所采用的技术方案是:一种刻蚀机零件存放装置,包括一可移动的柜体、挂槽、固定板以及积液处理单元,其中,挂槽设于该柜体顶部,滚轮轴悬挂于该挂槽上,并沿该挂槽上的滑轨移动;固定板包括多个等间距排列的条形隔板,该固定板对应设置于挂槽下方,固定悬挂于该挂槽上的该滚轮轴;积液处理单元收集滚轮轴上滴落的腐蚀性液体并将其排出柜体外。
特别地,该装置还包括设于挂槽上的移动辅助装置,该移动辅助装置在外力作用下推动该滚轮轴沿该挂槽上的滑轨移动。
特别地,该固定板上设有多个积液排出孔。
特别地,积液处理单元为设于该固定板下方的积液抽屉。
特别地,该积液处理单元为与该固定板连接的排出管道。
特别地,该装置还包括多个储物抽屉。
特别地,该柜体底部设有多个滑动式滚轮装置。
相较于现有技术,本发明的刻蚀机零件存放装置,在维修保养刻蚀机时,能够存放、储存刻蚀机零件,设置挂槽和固定板固定滚轮轴,且抽屉内存放其他零件,同时设置积液处理单元收集零件滴落的腐蚀性液体,避免现有技术中刻蚀机零件随地乱放,滴落的酸碱导致地表环氧漆腐蚀损坏,腐蚀性气体弥漫到空气中使工作环境变差,甚至腐蚀设备的弊端,同时柜体底部设有可移动的滚轮,方便移动,便于科学管理。
附图说明
图1为本发明刻蚀机零件存放装置的立体组装图。
图2为本发明刻蚀机零件存放装置的挂槽的示意图。
图3为滚轮轴悬挂在挂槽上的示意图。
图4为图3的局部放大图。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造