[发明专利]基板搬出装置在审
| 申请号： | 201811430289.5 | 申请日： | 2018-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN109836035A | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 西尾仁孝;高松生芳;上野勉 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C03B33/03 | 分类号： | C03B33/03 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘影娜 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基板 基板载置部 搬出装置 分割单元 倾斜位置 搬出部 搬出 端材 驱动 落下 去除 载置 分割 移动 | ||
1.一种基板搬出装置，其特征在于，所述基板搬出装置具有：
基板载置部，其载置有基板；
驱动部，其使所述基板载置部在水平位置与从所述水平位置向下方倾斜的倾斜位置之间移动；以及
搬出部，其搬出所述基板。
2.根据权利要求1所述的基板搬出装置，其特征在于，
所述基板被分割成搬出对象和非搬出对象，
所述基板搬出装置还具有控制部，该控制部在通过所述搬出部搬出所述搬出对象后，通过所述驱动部使所述基板载置部在所述倾斜位置倾斜，使所述非搬出对象从所述基板载置部落下。
3.根据权利要求2所述的基板搬出装置，其特征在于，
所述基板载置部构成为能够对载置在所述基板载置部上的基板的下表面赋予压力，
所述基板搬出装置还具有压力赋予部，该压力赋予部用于对载置在所述基板载置部上的基板的下表面赋予压力，
所述控制部以在使所述非搬出对象从所述基板载置部落下时对所述非搬出对象的下表面赋予正压的方式对压力赋予部进行控制。
4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的基板搬出装置，其特征在于，
所述基板载置部在水平方向上被分割成多个部分，
所述驱动部以使所述多个部分分别在所述水平位置与所述倾斜位置之间移动的方式进行驱动。
5.根据权利要求1～3中的任意一项所述的基板搬出装置，其特征在于，
所述基板载置部在所述水平方向上被分割成两个部分。
6.根据权利要求5所述的基板搬出装置，其特征在于，
所述驱动部以使所述两个部分的边界侧的端部向下方移动的方式使所述两个部分倾斜，将所述两个部分定位在所述倾斜位置。
7.根据权利要求1～3中的任意一项所述的基板搬出装置，其特征在于，
所述驱动部具有驱动机构，该驱动机构将所述基板载置部支承为能够向铅垂方向转动，并且，使所述基板载置部在所述水平位置与所述倾斜位置之间转动。
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