[发明专利]一种搬运装置及基板的搬运方法

说明书

本发明公开了一种搬运装置及基板的搬运方法，该搬运装置包括：第一叉手，用于叉取基板；第二叉手，用于从第一叉手上叉取基板；还包括基座，以及设置在基座上的升降装置，以及设置在基座上的第一驱动机构，及设置在升降装置上的第二驱动机构；其中，第一驱动机构与第一叉手连接并用于驱动第一叉手沿第一方向滑动；第二驱动机构与第二叉手连接并用于驱动第二叉手沿第二方向滑动。在上述方案中，通过采用在基座上设置第一叉手及第二叉手，并且第一叉手及第二叉手从不同的方向叉取基板，并且通过设置的第一驱动机构及第二驱动机构驱动上述的第一叉手及第二叉手运动，从而通过一个基座进行支撑，减少了整个装置占用的空间面积。

技术领域

本发明涉及到搬运技术领域，尤其涉及到一种搬运装置及基板的搬运方法。

背景技术

在太阳能面板、液晶面板、半导体等行业中，因受工艺需求和产线布局的限制，基板的放置方向各有不同。如图1所示，各世代线基板均有长短边的区分，基板若按短边放置称为纵持方式，按长边放置称为横持方式。为了优化产线或者满足某些设备的特殊需求，会出现需要同时对应纵持和横持方式。例如在设备1中采用纵持方式，而在设备2中采用横持方式。目前行业内的解决方案是机械手手臂将纵持方式的基板搬运至旋转机构3，旋转机构3再90°旋转基板，使基板成为横持方式，机械手另一手臂将横持方式的基板搬运至设备2中，这种方式需要一个额外设置的旋转机构3来实现纵横持基板的转换。但这种方式因为增加了旋转机构3，不仅提高了产线投入的成本、增加产线空间占用，而且机械手在设备、旋转机构3之间的搬运增加了转换的时间，不利于提高产能。

发明内容

本发明提供了一种搬运装置及基板的搬运方法，用以减少搬运装置的占用空间。

本发明提供了一种搬运装置，该搬运装置包括：第一叉手，用于叉取基板；第二叉手，用于从所述第一叉手上叉取基板；还包括基座，以及设置在所述基座上的升降装置，以及设置在所述基座的第一驱动机构，及设置在所述升降装置上的第二驱动机构；其中，所述第一驱动机构与所述第一叉手连接并用于驱动所述第一叉手沿第一方向滑动；所述第二驱动机构与所述第二叉手连接并用于驱动所述第二叉手沿第二方向滑动。

在上述方案中，通过采用在基座上设置第一叉手及第二叉手，并且第一叉手及第二叉手从不同的方向叉取基板，并且通过设置的第一驱动机构及第二驱动机构驱动上述的第一叉手及第二叉手运动，从而通过一个基座进行支撑，减少了整个装置占用的空间面积。

在具体设置时，所述第一叉手包括第一横梁，以及间隔设置在所述第一横梁上的多个第一叉杆，其中，每个第一叉杆上间隔设置有多个用于支撑所述基板的支撑凸起；所述第二叉手包括第二横梁，以及间隔设置在所述第二横梁上的多个第二叉杆；且在所述第二叉手叉取所述第一叉手上的基板时，所述多个第二叉杆插入所述多个支撑凸起之间的间隙内。通过间隔设置的支撑凸起，使得第二叉手能够插入到第一叉手上叉取基板。

在具体设置支撑凸起时，所述支撑凸起为聚醚醚酮制备的支撑凸起。避免支撑凸起支撑基板时划伤基板。

在具体设置支撑凸起时，每个支撑凸起与对应的第一叉杆滑动连接并可锁定在设定位置。

在具体实现对支撑凸起的滑动以及锁定时，所述第一叉杆内设置有用于驱动每个支撑凸起滑动的第三驱动机构；所述第三驱动机构包括：驱动电机以及与所述驱动电机连接的齿轮；还包括设置在所述支撑凸起的齿条，所述齿轮与所述齿条啮合；

所述第三驱动机构还包括设置在所述第一叉杆内且沿高度方向排列的第一传感器及第二传感器，以及设置在所述支撑凸起的感应片；还包括控制器，所述控制器在所述第一传感器或第二传感器检测到所述感应片时，控制所述驱动电机停止驱动所述支撑凸起。