[发明专利]一种搬运装置及基板的搬运方法

权利要求书

1.一种搬运装置，其特征在于，包括：

第一叉手，用于叉取基板；

第二叉手，用于从所述第一叉手上叉取基板；

还包括基座，以及设置在所述基座上的升降装置，以及设置在所述基座上的第一驱动机构，及设置在所述升降装置上的第二驱动机构；其中，所述第一驱动机构与所述第一叉手连接并用于驱动所述第一叉手沿第一方向滑动；所述第二驱动机构与所述第二叉手连接并用于驱动所述第二叉手沿第二方向滑动。

2.如权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述第一叉手包括第一横梁，以及间隔设置在所述第一横梁上的多个第一叉杆，其中，每个第一叉杆上间隔设置有多个用于支撑所述基板的支撑凸起；

所述第二叉手包括第二横梁，以及间隔设置在所述第二横梁上的多个第二叉杆；且在所述第二叉手叉取所述第一叉手上的基板时，所述多个第二叉杆插入所述多个支撑凸起之间的间隙内。

3.如权利要求2所述的搬运装置，其特征在于，每个支撑凸起与对应的第一叉杆滑动连接并可锁定在设定位置。

4.如权力要去3所述的搬运装置，其特征在于，所述第一叉杆内设置有用于驱动每个支撑凸起滑动的第三驱动机构；所述第三驱动机构包括：驱动电机以及与所述驱动电机连接的齿轮；还包括设置在所述支撑凸起的齿条，所述齿轮与所述齿条啮合；

所述第三驱动机构还包括设置在所述第一叉杆内且沿高度方向排列的第一传感器及第二传感器，以及设置在所述支撑凸起的感应片；还包括控制器，所述控制器在所述第一传感器或第二传感器检测到所述感应片时，控制所述驱动电机停止驱动所述支撑凸起。

5.如权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述第一驱动机构包括与所述基座转动连接的第一大臂，以及与所述第一大臂转动连接的第一小臂，且所述第一小臂与所述第一叉手转动连接，还包括用于驱动所述第一大臂转动的第一驱动电机，用于驱动所述第一小臂转动的第二驱动电机，以及用于驱动所述第一叉手转动的第三驱动电机；

所述第二驱动机构包括：与所述升降装置转动连接的第二大臂，以及与所述第二大臂转动连接的第二小臂，且所述第二小臂与所述第二叉手转动连接，还包括用于驱动所述第二大臂转动的第四驱动电机，用于驱动所述第二小臂转动的第五驱动电机，以及用于驱动所述第二叉手转动的第六驱动电机。

6.如权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述第一驱动机构为与所述基座连接的丝杠传动机构；所述第二驱动机构为与所述升降装置连接的丝杠传动机构。

7.如权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述基座为可伸缩并可锁定在设定位置的基座。

8.如权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述第一方向与所述第二方向垂直。

9.如权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述升降装置为升降轴。

10.如权利要求1～9任一项所述的搬运装置，其特征在于，还包括：走行轴，所述基座设置在所述走行轴。

11.如权利要求10所述的搬运装置，其特征在于，所述基座与所述走形轴转动连接，还包括用于驱动所述基座转动的第三驱动机构。

12.一种基板的搬运方法，其特征在于，采用如权利要求1～11任一项所述的搬运装置搬运基板，所述搬运方法包括如下步骤：

通过第一驱动机构驱动第一叉手沿第一方向伸出并叉取基板；

通过第一驱动机构驱动第一叉手回缩；

通过第二驱动机构驱动第二叉手沿第二方向伸出并叉取所述第一叉手上的基板；

通过所述第二驱动机构带动所述第二叉手回缩；

通过所述升降装置上升，并通过所述第二驱动机构带动所述第二叉手伸出并将所述基板放置到待加工的工位。

13.如权利要求12所述的搬运方法，其特征在于，所述通过第二驱动机构驱动第二叉手沿第二方向伸出并叉取所述第一叉手上的基板具体为：

通过升降装置带动所述第二叉手上升叉取所述第一叉手上的基板；或，

通过支撑凸起回缩，所述第一叉手上的基板落到所述第二叉手上。