[发明专利]一种垂直式双炉体化学气相沉积设备

权利要求书

1.一种垂直式双炉体化学气相沉积设备，其特征在于包括支架底座、升降系统、下炉体、缓冲炉体、上炉体、源气系统、进气管、真空阀门、排气管、真空泵、过滤池；下炉体安装在支架底座上，下炉体下端连接升降系统，下炉体通过进气管和源气系统连接；缓冲炉体安装在下炉体上端，上炉体安装在缓冲炉体上面；上炉体通过排气管和真空泵连接，真空泵和过滤池通过排气管连接；所述的缓冲炉体用于隔开上炉体和下炉体；所述的过滤池中溶液为氢氧化钙溶液。

2.根据权利要求1所述的垂直式双炉体化学气相沉积设备，其特征在于所述的下炉体包括炉壳、温度测量仪、保温层、加热器、气体分流器、石墨坩埚、石墨开孔底板、石墨开孔盖板；所述下炉体直径为1000~4000mm，高度为1500~5000mm；所述的石墨坩埚直径500~2000mm，高度为1000~3000mm；所述加热器环绕在石墨坩埚外围，最高工作温度为1500~2000℃；所述保温层包裹在加热器外围；所述气体分流器位于下炉体进气口上端，石墨开孔底板位于气体分流器上端，石墨开孔盖板位于石墨坩埚上端。

3.根据权利要求1所述的垂直式双炉体化学气相沉积设备，其特征在于所述的缓冲炉体包括炉壳、保温层、四周开孔石墨盖板、四周开孔保温层、石墨坩埚；所述保温层包裹在石墨坩埚外围；所述四周开孔石墨盖板位于石墨坩埚上端；所述四周开孔保温层位于四周开孔石墨盖板上层；所述石墨坩埚直径为300~1000mm，高度为300~800mm。

4.根据权利要求1所述的垂直式双炉体化学气相沉积设备，其特征在于所述的上炉体包括炉壳、温度测量仪、加热器、保温层、石墨坩埚、中心开孔石墨底座，多孔碳毡，石墨开孔盖板；所述上炉体直径为400~1200mm，高度为500~1500mm；所述加热器环绕在石墨坩埚外围，最高工作温度为1800~2500℃；所述的石墨坩埚直径200~500mm，高度为400~1200mm；所述的中心开孔石墨底座位于石墨坩埚下端；所述的多孔碳毡位于中心开孔石墨底座上面；所述石墨开孔盖板位于石墨坩埚上端；所述保温层包裹在石墨坩埚外围和石墨开孔盖板上层。