[发明专利]一种半导体芯片封装方法在审
申请号: | 201811341282.6 | 申请日: | 2018-11-12 |
公开(公告)号: | CN109390365A | 公开(公告)日: | 2019-02-26 |
发明(设计)人: | 俞国庆 | 申请(专利权)人: | 通富微电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 李庆波 |
地址: | 226000 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 芯片 金属件 透明保护层 第一端 焊盘 半导体芯片封装 电路板 感光区 导电性能 电性连接 感光效果 正面设置 电连接 背对 齐平 折板 申请 背面 覆盖 | ||
1.一种半导体芯片封装方法,其特征在于,所述封装方法包括:
提供芯片,所述芯片包括正面和背面,所述芯片的正面设置有感光区和位于感光区周围的焊盘,且所述焊盘背对所述芯片一侧形成有金属件,所述芯片的正面形成有透明保护层,且所述金属件远离所述焊盘的第一端与所述透明保护层齐平,所述金属件的所述第一端不覆盖所述透明保护层;
利用具有导电性能的折板电性连接所述金属件的所述第一端和电路板,以使得所述芯片与所述电路板电连接。
2.根据权利要求1所述的封装方法,其特征在于,所述提供芯片,所述芯片包括正面和背面,所述芯片的正面设置有感光区和位于感光区周围的焊盘,且所述焊盘背对所述芯片一侧形成有金属件,所述芯片的正面形成有透明保护层,且所述金属件远离所述焊盘的第一端与所述透明保护层齐平,所述金属件的所述第一端不覆盖所述透明保护层,包括:
提供圆片,所述圆片设有多个矩阵排列的芯片,所述芯片之间设有划片槽,所述圆片包括正面及背面,所述芯片的正面即所述圆片的正面,所述芯片的背面即所述圆片的背面,所述芯片的正面设置有感光区和位于感光区周围的焊盘;
在所述焊盘背对所述芯片一侧形成金属件;
在所述芯片正面形成透明保护层,所述透明保护层覆盖所述感光区和所述金属件;
研磨所述透明保护层远离所述芯片一侧,以使得所述金属件露出;
对所述圆片的所述划片槽进行切割,以切割掉划片槽对应的圆片和透明保护层,进而获得单颗芯片。
3.根据权利要求2所述的封装方法,其特征在于,所述在所述芯片正面形成透明保护层,包括:
在所述芯片正面利用旋涂、点胶或印刷的方式形成所述透明保护层,并使所述透明保护层固化。
4.根据权利要求3所述的封装方法,其特征在于,所述使所述透明保护层固化包括:
利用紫外线照射或者烘烤的方式使所述透明保护层固化。
5.根据权利要求2所述的封装方法,其特征在于,所述金属件为金属凸柱,所述在所述焊盘背对所述芯片一侧形成金属件包括:
利用电镀工艺在所述焊盘背对所述芯片一侧形成金属凸柱。
6.根据权利要求2所述的封装方法,其特征在于,所述金属件为金属凸点,所述在所述焊盘背对所述芯片一侧形成金属件包括:
利用键合工艺在所述焊盘背对所述芯片一侧形成金属凸点。
7.根据权利要求1所述的封装方法,其特征在于,所述折板包括互相连接的第一部和第二部;所述第一部与所述芯片的正面平行,且所述第一部沿朝向所述芯片方向延伸;所述第二部与所述芯片的侧壁平行,且所述第二部紧靠所述芯片的侧壁设置;所述第一部与所述金属件的所述第一端电连接,所述第二部面向所述电路板一侧与所述电路板电连接。
8.根据权利要求1所述的封装方法,其特征在于,所述折板包括第一部、第二部、第三部;其中,所述第一部通过所述第二部与所述第三部连接,所述第一部与所述芯片的正面平行,且所述第一部沿朝向所述芯片方向延伸;所述第二部与所述芯片的侧壁平行,且所述第二部紧靠所述芯片的侧壁设置;所述第三部向远离芯片方向延伸,且所述第三部与所述电路板的表面平行,所述第一部与所述金属件的所述第一端电连接,所述第三部面向所述电路板一侧与所述电路板电连接。
9.根据权利要求1所述的封装方法,其特征在于,所述折板为全金属材料;或者,所述折板包括金属材料和位于金属材料周围的绝缘材料。
10.根据权利要求1所述的封装方法,其特征在于,所述利用具有导电性能的折板电性连接所述金属凸柱的所述第一端和电路板之前,所述方法包括:利用胶膜将所述芯片的背面与所述电路板固定。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于通富微电子股份有限公司,未经通富微电子股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201811341282.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种半导体芯片封装方法
- 下一篇:固态成像装置和电子设备
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的