[发明专利]掩膜版及其制造方法、蒸镀装置、显示装置

说明书

本申请公开一种掩膜版及其制造方法、蒸镀装置、显示装置，属于蒸镀技术领域。该方法包括：在衬底基板上形成第一光刻胶图形，第一光刻胶图形由多个光刻胶结构构成，光刻胶结构的轮廓呈喇叭形，具有远离衬底基板的第一表面和靠近衬底基板的第二表面，第一表面的尺寸小于第二表面的尺寸；在形成第一光刻胶图形的衬底基板上形成金属层，金属层具有凹陷区域和多个凸起区域，凹陷区域为金属层上除凸起区域之外的区域；在凹陷区域中形成第二光刻胶图形，第二光刻胶图形在金属层上的正投影与凹陷区域重合；去除金属层未被第二光刻胶图形覆盖的区域、第二光刻胶图形、衬底基板和第一光刻胶图形得到掩膜版。本申请提高了掩膜版的精度。

技术领域

本申请涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种掩膜版及其制造方法、蒸镀装置、显示装置。

背景技术

有机发光二极管(英文：Organic Light-Emitting Diode；简称：OLED)显示装置具有多个OLED单元，每个OLED单元包括有机发光层和位于有机发光层两侧的电极等结构，OLED显示装置依靠电极驱动有机发光层发光实现图像显示。在制造OLED显示装置的过程中，可以采用蒸镀装置制作电极和有机发光层等结构。

蒸镀装置包括蒸镀光罩以及设置在蒸镀光罩内的蒸镀源和精细金属掩膜板(英文：Fine Metal Mask；简称：FMM)，FMM具有沿FMM的厚度贯通的多个蒸镀孔，每个蒸镀孔由两个子蒸镀孔构成，每个子蒸镀孔的形状为喇叭形，每个子蒸镀孔具有第一开口和第二开口，第一开口的尺寸小于第二开口的尺寸，两个子蒸镀孔的第一开口重合，第二开口位于FMM的不同版面上。该FMM在制造时，通过两次构图工艺从金属母版的两个版面对金属母版进行处理，以在金属母版上形成两个子蒸镀孔层，每个子蒸镀孔层包括多个子蒸镀孔，两个子蒸镀孔层的子蒸镀孔一一对应连通形成多个蒸镀孔，从而得到FMM。其中，一次构图工艺包括光刻胶涂覆、曝光、显影、刻蚀和光刻胶剥离。

但是，通过两次构图工艺从金属母版的两个版面对金属母版进行处理的过程中，金属母版的两个版面的曝光位置难以精确对位，导致构成蒸镀孔的两个子蒸镀孔的第一开口无法重合，FMM的精度较低。

发明内容

本申请提供一种掩膜版及其制造方法、蒸镀装置、显示装置，可以解决FMM的精度较低的问题。本申请的技术方案如下：

第一方面，提供一种掩膜版的制造方法，所述方法包括：

在衬底基板上形成第一光刻胶图形，所述第一光刻胶图形由阵列排布的多个光刻胶结构构成，每个光刻胶结构的外部轮廓呈喇叭形，每个光刻胶结构具有远离所述衬底基板的第一表面和靠近所述衬底基板的第二表面，所述第一表面的尺寸小于所述第二表面的尺寸；

在形成有所述第一光刻胶图形的衬底基板上形成覆盖所述第一光刻胶图形的金属层，所述金属层具有凹陷区域和多个凸起区域，所述多个凸起区域与所述多个光刻胶结构一一对应，所述凹陷区域为所述金属层上除所述凸起区域之外的区域；

在所述金属层的凹陷区域中形成第二光刻胶图形，所述第二光刻胶图形在所述金属层上的正投影与所述凹陷区域重合；

去除所述金属层上未被所述第二光刻胶图形覆盖的区域、所述第二光刻胶图形、所述衬底基板和所述第一光刻胶图形，得到掩膜版，所述掩膜版具有多个蒸镀孔，每个蒸镀孔由形状为喇叭形的两个子蒸镀孔构成，每个子蒸镀孔具有第一开口和第二开口，所述第一开口的尺寸小于所述第二开口的尺寸，每个蒸镀孔的两个子蒸镀孔的第一开口重合，第二开口位于所述掩膜版的不同版面上。

可选地，所述在形成有所述金属层的衬底基板上形成第二光刻胶图形，包括：通过喷墨打印工艺或涂覆工艺在形成有所述金属层的衬底基板上形成第二光刻胶图形。

可选地，在形成有所述第一光刻胶图形的衬底基板上形成覆盖所述第一光刻胶图形的金属层之前，所述方法还包括：在形成有所述第一光刻胶图形的衬底基板上形成覆盖所述第一光刻胶图形的导电粘附层；