[发明专利]一种化学腐蚀液在硅片表面制绒中的应用有效
| 申请号： | 201811313605.0 | 申请日： | 2018-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN111139076B | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 刘欢;赵雷;王文静 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电工研究所 |
| 主分类号： | C09K13/08 | 分类号： | C09K13/08;C30B33/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 刘奇 |
| 地址： | 100000 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 化学 腐蚀 硅片 表面 中的 应用 | ||
【权利要求书】：
1.一种化学腐蚀液在硅片表面制绒中的应用，其特征在于，所述化学腐蚀液为含有MnO2颗粒的HNO3/HF/H2O溶液；
所述MnO2颗粒的粒径在10 μm以下；
所述MnO2颗粒在化学腐蚀液中的浓度为30~80 g/L；
所述化学腐蚀液中HNO3的浓度为0.8~9.4 mol/L；
所述化学腐蚀液中HF的浓度为1.1~18.1 mol/L。
2.根据权利要求1所述的应用，其特征在于，所述硅片为多晶硅片。
3.根据权利要求1或2所述的应用，其特征在于，所述硅片表面制绒包括：将硅片置于化学腐蚀液中进行腐蚀。
4.根据权利要求3所述的应用，其特征在于，所述腐蚀后，还包括对硅片进行后处理；所述后处理包括对所述硅片依次进行碱洗、酸洗和水洗。
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