[发明专利]保护膜及其制造方法、保护装置、物体保护方法有效

专利信息
申请号: 201811275768.4 申请日: 2018-10-30
公开(公告)号: CN109346431B 公开(公告)日: 2020-12-15
发明(设计)人: 罗程远;薛金祥 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L23/60
代理公司: 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 代理人: 刘小鹤
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 保护膜 及其 制造 方法 保护装置 物体 保护
【说明书】:

本申请公开了一种保护膜及其制造方法、保护装置、物体保护方法,属于保护膜领域。所述保护膜具有用于与待保护物粘接的目标表面,目标表面包括导电区域与粘性区域。本申请解决了保护膜的保护效果较差的问题,提高了保护膜的保护效果。本申请用于保护物体。

技术领域

本申请涉及保护膜领域,特别涉及一种保护膜及其制造方法、保护装置、物体保护方法。

背景技术

随着显示技术的发展,对于显示面板的性能要求越来越高。

相关技术中,显示面板的制造过程涉及多次制造工艺,在对显示面板中已经制造得到的结构进行一次制造工艺时,可以在该结构中当前制造工艺未涉及的区域贴附保护膜,以对已经制得的结构进行保护。之后,在需要针对该贴附保护膜的区域进行其他制造工艺时,需要将该保护膜揭除。

但是,在揭除已经制得的结构上贴附的保护膜时,保护膜与该结构之间会产生较大的静电,进而会损伤该结构中的电子器件(如薄膜晶体管等),因此保护膜的保护效果较差。

发明内容

本申请提供了一种保护膜及其制造方法、保护装置、物体保护方法,可以解决保护膜的保护效果较差的问题,提高保护膜的保护效果。所述技术方案如下:

一方面,提供了一种保护膜,所述保护膜具有用于与待保护物粘接的目标表面,所述目标表面包括导电区域与粘性区域。

可选地,所述导电区域的面积大于所述目标表面面积的30%。

可选地,所述保护膜包括:叠加的导电层与具有粘性的辅助层,

所述辅助层具有镂空,所述导电层中存在伸入所述镂空的目标导电部分,所述辅助层中远离所述导电层的表面形成所述粘性区域,所述目标导电部分的一个表面形成所述导电区域。

可选地,所述镂空的截面呈梯形,且所述梯形的下底远离所述目标表面,所述梯形的上底位于所述目标表面所在的平面。

可选地,所述镂空远离所述导电层一侧的开口呈圆形或多边形。

可选地,所述多边形为长方形。

可选地,所述辅助层远离所述导电层的表面具有多个凹槽。

可选地,所述凹槽的开口呈圆形,所述圆形的直径范围为0.25微米~5微米。

可选地,所述导电层的材料为导电高分子材料,所述导电层的方块电阻小于100欧姆。

可选地,所述保护膜还包括:位于所述导电层远离所述辅助层一侧的凸台,所述凸台伸入所述镂空内。

可选地,所述辅助层具有多个镂空,所述保护膜包括多个凸台,所述多个镂空与所述多个凸台一一对应,每个凸台位于其对应的镂空内。

可选地,所述多个镂空均匀分布在所述辅助层中。

可选地,所述凸台的截面呈梯形,所述凸台的梯形截面的上底和下底的长度范围均为1毫米~5毫米,所述凸台的高度范围为10微米~20微米。

可选地,所述辅助层包括:叠加的胶层与除尘层,且所述除尘层位于所述胶层远离所述导电层的一侧。

可选地,所述保护膜还包括:衬底,所述衬底位于所述导电层远离所述辅助层的一侧。

可选地,所述保护膜还包括:贴附于所述目标表面的保护层。

可选地,所述保护膜由柔性材料制成。

可选地,所述除尘层的材料为纳米微吸材料。

可选地,所述保护膜的厚度范围为50微米~200微米。

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