[发明专利]用于有机薄膜晶体管的可UV图案化的聚合物掺混物在审
申请号: | 201811190154.6 | 申请日: | 2018-10-12 |
公开(公告)号: | CN111048663A | 公开(公告)日: | 2020-04-21 |
发明(设计)人: | 贺明谦;J·金;李鑫;李阳;王宏祥 | 申请(专利权)人: | 康宁股份有限公司 |
主分类号: | H01L51/05 | 分类号: | H01L51/05;H01L51/30 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 项丹 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 有机 薄膜晶体管 uv 图案 聚合物 掺混物 | ||
一种聚合物掺混物包含与隔离聚合物掺混的有机半导体聚合物;用于生成活性自由基的至少一种光引发剂;以及包含C=C键、硫醇或其组合的至少一种交联剂,使得所述有机半导体聚合物是二酮基吡咯并吡咯‑稠合噻吩聚合材料,所述稠合噻吩是β取代的,并且所述隔离聚合物具有非共轭骨架。还提出了形成具有聚合物掺混物的有机半导体装置的方法。
背景
1、技术领域
本公开涉及作为有机薄膜晶体管(OTFT)中的半导体层的可UV图案化的有机半导体/隔离聚合物掺混物。
2、背景技术
有机薄膜晶体管(OTFT)作为常规硅基技术的替代选择已引起广泛关注,常规的硅基技术需要高温和高真空沉积工艺,以及复杂的光刻图案化方法。半导体(即,有机半导体,OSC)层是OTFT中的一种重要部件,其可有效影响装置的性能。
传统的无机TFT装置阵列制造技术常依赖于光刻法作为图案化工艺。然而,光刻法在图案转移或光致抗蚀剂移除期间常涉及苛刻的氧(O2)等离子体,以及涉及侵蚀性显影溶剂,它们可以严重地损坏OSC层并导致装置性能显著下降。
本公开提出了得到改进的可UV图案化的有机半导体/隔离聚合物掺混物及其用于有机薄膜晶体管的OSC层的用途。
发明内容
在一些实施方式中,一种聚合物掺混物包含:与隔离聚合物掺混的有机半导体聚合物;被构造用于生成活性自由基的至少一种光引发剂;以及包含C=C键、硫醇或其组合的至少一种交联剂,其中,所述有机半导体聚合物是二酮基吡咯并吡咯-稠合噻吩聚合材料,其中,稠合噻吩是β取代的,并且其中,所述隔离聚合物具有非共轭骨架。
在可与任何的其他方面或实施方式组合的一个方面中,所述有机半导体聚合物存在的量在1重量%至99重量%的范围内;所述隔离聚合物存在的量在1重量%至99重量%的范围内;所述至少一种光引发剂存在的量在0.1重量%至5重量%的范围内;以及所述至少一种交联剂存在的量在0.05重量%至10重量%的范围内。
在可与任意其他方面或实施方式组合的一个方面中,所述有机半导体聚合物存在的量在10重量%至50重量%的范围内。
在可与任意其他方面或实施方式组合的一个方面中,所述至少一种光引发剂存在的量在0.1重量%至2.0重量%的范围内;并且所述至少一种交联剂存在的量在0.3重量%至5.0重量%的范围内。
在可与任意其他方面或实施方式组合的一个方面中,所述聚合物掺混物还包含:抗氧化剂、润滑剂、增容剂或流平剂中的至少一种,其存在的量在0.05重量%至5重量%的范围内。
在可与任意其他方面或实施方式组合的一个方面中,所述有机半导体聚合物包含式1或式2的重复单元,或者其盐、异构体或类似物:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择