[发明专利]折叠显示屏及其制作方法在审

专利信息
申请号: 201811188420.1 申请日: 2018-10-12
公开(公告)号: CN109346484A 公开(公告)日: 2019-02-15
发明(设计)人: 赵瑾荣 申请(专利权)人: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L27/32
代理公司: 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 代理人: 黄威
地址: 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 无机层 图案化金属层 折叠 显示屏 基板 图案化 有机层 填满 制作
【权利要求书】:

1.一种折叠显示屏,其特征在于,包括:

一基板;

多个无机层,设置在所述基板上;

一图案化金属层,位于所述多个无机层的至少两个无机层之间;

一第一过孔与一第二过孔,位于所述多个无机层中,其中所述第一过孔位于所述图案化金属层上,所述第二过孔位于相邻的两个图案化金属层之间,所述第一过孔的尺寸小于所述图案化金属层的尺寸;及

一图案化有机层,设置在所述多个无机层上,并填满所述第一过孔与所述第二过孔。

2.根据权利要求1所述的折叠显示屏,其特征在于,所述图案化有机层具有一长条状部分。

3.根据权利要求1所述的折叠显示屏,其特征在于,所述图案化有机层具有多个短条状部分。

4.根据权利要求1所述的折叠显示屏,其特征在于,

所述图案化金属层的材质为钼、钼/铝或钼/铝/钼,所述图案化有机层的材质为有机光阻聚合物;及

所述图案化金属层、所述第一过孔、所述第二过孔与所述图案化有机层设置在所述折叠显示屏的一栅极驱动电路区域或者外围边界区域中。

5.根据权利要求1所述的折叠显示屏,其特征在于,

所述多个无机层包括一缓冲层、一第一栅极绝缘层、一第二栅极绝缘层与一层间介电层,依序由下往上设置所述基板上;及

所述图案化金属层设置在所述第一栅极绝缘层上,且位于所述第一栅极绝缘层与所述第二栅极绝缘层之间,或者位于所述第二栅极绝缘层与所述层间介电层之间,或者位于所述第一栅极绝缘层与所述层间介电层之间。

6.一种制作折叠显示屏的方法,其特征在于,包括以下步骤:

提供一基板;

形成多个无机层与一图案化金属层于所述基板上,其中所述图案化金属层位于所述多个无机层的至少两个无机层之间;

形成一第一过孔与一第二过孔于所述多个无机层中,其中所述第一过孔形成于所述图案化金属层上,所述第二过孔形成于相邻的两个图案化金属层之间,所述第一过孔的尺寸小于所述图案化金属层的尺寸;及

形成一图案化有机层于所述多个无机层上,所述图案化有机层填满所述第一过孔与所述第二过孔。

7.根据权利要求6所述的制作折叠显示屏的方法,其特征在于,所述图案化有机层具有一长条状部分。

8.根据权利要求6所述的制作折叠显示屏的方法,其特征在于,所述图案化有机层具有多个短条状部分。

9.根据权利要求6所述的制作折叠显示屏的方法,其特征在于,

所述图案化金属层的材质为钼、钼/铝或钼/铝/钼,所述图案化有机层的材质为有机光阻聚合物;及

所述图案化金属层、所述第一过孔、所述第二过孔与所述图案化有机层形成在所述折叠显示屏的一栅极驱动电路或者外围边界区域中。

10.根据权利要求6所述的制作折叠显示屏的方法,其特征在于,

形成所述多个无机层的步骤包括:依序形成一缓冲层、一第一栅极绝缘层、一第二栅极绝缘层与一层间介电层于所述基板上;及

所述图案化金属层形成在所述第一栅极绝缘层上,且位于所述第一栅极绝缘层与所述第二栅极绝缘层之间,或者位于所述第二栅极绝缘层与所述层间介电层之间,或者位于所述第一栅极绝缘层与所述层间介电层之间。

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