[发明专利]一种掩膜板及其制备方法有效
| 申请号： | 201811126552.1 | 申请日： | 2018-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN109295413B | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 张峰杰;王伟杰;朱海彬;金鑫 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜板 及其 制备 方法 | ||
1.一种掩膜板，包括掩膜板本体，所述掩膜板本体上开设有图案开口，其特征在于，所述掩膜板本体上还分散开设有多个容纳孔，每个所述容纳孔内均填充有磁性吸附件；
所述图案开口包括多个按预设规律分散排布的开孔，所述开孔为锥孔，每个开孔对应于基板的一个子像素，每个所述开孔的周围至少分布有一个所述容纳孔，所述容纳孔为盲孔；
多个所述开孔与多个所述容纳孔在所述掩膜板本体上排布成阵列；在所述阵列中，每行或者每列均包括多个所述开孔和多个所述容纳孔，并且多个所述开孔与多个所述容纳孔交错设置；
所述容纳孔的孔口与所述开孔的小端孔口位于所述掩膜板本体的同一侧表面上。
2.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，多个所述容纳孔按预设规律分散排布。
3.根据权利要求1～2中任一项所述的掩膜板，其特征在于，所述磁性吸附件为磁性材料层。
4.根据权利要求1～2中任一项所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜板本体的材料为玻璃。
5.一种掩膜板的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
提供掩膜板本体；
在所述掩膜板本体上开设图案开口；
在所述掩膜板本体上分散开设多个容纳孔；
在每个所述容纳孔内均填充磁性吸附件；
其中，所述图案开口包括多个按预设规律分散排布的开孔，所述开孔为锥孔，每个开孔对应于基板的一个子像素，每个所述开孔的周围至少分布有一个所述容纳孔，所述容纳孔为盲孔；多个所述开孔与多个所述容纳孔在所述掩膜板本体上排布成阵列；在所述阵列中，每行或者每列均包括多个所述开孔和多个所述容纳孔，并且多个所述开孔与多个所述容纳孔交错设置；所述容纳孔的孔口与所述开孔的小端孔口位于所述掩膜板本体的同一侧表面上。
6.根据权利要求5所述的掩膜板的制备方法，其特征在于，在每个所述容纳孔内设置磁性吸附件包括：向每个所述容纳孔内注入磁性材料，以形成磁性材料层；其中，所述磁性材料层为所述磁性吸附件。
7.根据权利要求6所述的掩膜板的制备方法，其特征在于，所述容纳孔通过激光刻蚀或者等离子刻蚀的方式在所述掩膜板本体上开设。
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