[发明专利]一种阵列基板及其制备方法和显示面板

说明书

本发明提供一种阵列基板及其制备方法和显示面板。该阵列基板包括设置在显示区的晶体管，还包括设置在非显示区的气体探测器，气体探测器包括加热层、第一电极、第二电极和气体敏感层，加热层与晶体管的栅极同层设置且采用相同材料，用于加热气体敏感层；第一电极和第二电极与晶体管的源漏极同层设置且采用相同材料。该阵列基板能够实现将气体探测器集成在便携式显示装置内部，从而使气体探测器随身携带更加方便；该阵列基板还能使气体探测器的部分结构能与晶体管的某些膜层采用相同工艺同时制备，从而使气体探测器无需直接安装在便携式显示装置内部，不仅降低了安装成本，而且降低了集成有气体探测器的显示装置的制备成本。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，具体地，涉及一种阵列基板及其制备方法和显示面板。

背景技术

有害气体的探测很有必要，如果在人们的便携设备上带有对有害气体的检测功能，将极大地提高自我防护。

但自带便携式的气体探测仪有诸多不便，如果将气体探测器加载在便携设备如手机内部，又会额外增加便携设备的制作成本。

因此，如何既不额外增加便携设备制作成本又能通过便携设备携带气体探测仪已成为目前亟待解决的问题。

发明内容

本发明针对现有技术中存在的上述技术问题，提供一种阵列基板及其制备方法和显示面板。该阵列基板能够实现将气体探测器集成在便携式显示装置内部，从而使气体探测器随身携带更加方便；该阵列基板还能使气体探测器的部分结构能与晶体管的某些膜层采用相同工艺同时制备，从而使气体探测器无需直接安装在便携式显示装置内部，不仅降低了安装成本，而且降低了集成有气体探测器的显示装置的制备成本。

本发明提供一种阵列基板，包括设置在显示区的晶体管，还包括设置在非显示区的气体探测器，所述气体探测器包括加热层、第一电极、第二电极和气体敏感层，所述加热层与所述晶体管的栅极同层设置且采用相同材料，用于加热所述气体敏感层；所述第一电极和所述第二电极与所述晶体管的源漏极同层设置且采用相同材料。

优选地，所述阵列基板还包括基底，所述晶体管的栅绝缘层延伸至所述非显示区；

所述第一电极、所述栅绝缘层、所述第二电极和所述气体敏感层在远离所述基底的方向上依次设置。

优选地，所述第一电极和所述第二电极构成叉指电极。

优选地，所述叉指电极相邻叉指之间的间隙距离范围为3-10μm，所述叉指电极的叉指宽度范围为5-20μm，所述叉指电极的厚度范围为100-350nm。

优选地，所述加热层的材料包括银、铜、铝、钼、钨、镁中的任意一种；所述气体敏感层的材料包括添加有铂或钯的氧化锡、氧化铁、氧化锌中的任意一种。

优选地，所述气体探测器为多个，多个所述气体探测器呈阵列排布。

本发明还提供一种显示面板，包括上述阵列基板。

本发明还提供一种上述阵列基板的制备方法，包括：在显示区制备形成晶体管；还包括：在非显示区制备形成气体探测器；所述气体探测器的加热层与所述晶体管的栅极采用同一构图工艺同时形成；所述气体探测器的第一电极和第二电极与所述晶体管的源漏极采用同一构图工艺同时形成。

优选地，制备形成所述晶体管和制备形成所述气体探测器包括：

在基底上形成包括所述加热层和所述栅极的图形；

形成所述晶体管的栅绝缘层的图形；所述栅绝缘层延伸至所述非显示区；

形成包括所述晶体管的有源层的图形；

形成包括所述第一电极、所述第二电极和所述源漏极的图形；