[发明专利]扫描透射电子显微成像方法和系统

权利要求书

1.一种扫描透射电子显微成像方法，其特征在于，包括以下步骤：

控制电子束在样品上方进行逐点的旋进扫描，在样品下方得到衍射点信息，其中，电子束对样品的逐点的旋进扫描通过控制电子束在每个扫描点旋转一周，并间隔角度取若干扫描点，然后将若干间隔选取的扫描点加权叠加生成的扫描点代替原先单个扫描点；

通过选取高角度的衍射点信息，得到电流强度信息；

根据电流强度信息转换成衍射衬度信息，根据衍射衬度信息得到样品的暗场像。

2.根据权利要求1所述的扫描透射电子显微成像方法，其特征在于，所述电子束对样品的逐点的旋进扫描通过控制电子束在每个扫描点通转一周，并间隔角度取若干扫描点，包括以下步骤：

每间隔30°选取共12个特征角度的扫描点进行加权叠加。

3.根据权利要求1或2所述的扫描透射电子显微成像方法，其特征在于，还包括以下步骤：

在电子束旋进过程中，进行去扫描转换，保证扫描的支点和去扫描的支点位于衍射的前焦面和后焦面上。

4.一种扫描透射电子显微成像系统，其特征在于，包括：

扫描线圈，用于控制电子束在样品上方进行逐点的旋进扫描，在样品下方得到衍射点信息，其中，电子束对样品的逐点的旋进扫描通过控制电子束在每个扫描点通转一周，并间隔角度取若干扫描点；

处理单元，用于将若干间隔选取的扫描点加权叠加生成的扫描点代替原先单个扫描点；

HAADF扫描探头，用于通过选取高角度的衍射点信息，得到电流强度信息；以及

成像单元，用于根据电流强度信息转换成衍射衬度信息，根据衍射衬度信息得到样品的暗场像。

5.根据权利要求4所述的扫描透射电子显微成像系统，其特征在于，所述扫描线圈用于每间隔30°选取共12个特征角度的扫描点进行加权叠加。

6.根据权利要求4或5所述的扫描透射电子显微成像系统，其特征在于，还包括去扫描转换单元，用于在电子束旋进过程中，进行去扫描转换，保证扫描的支点和去扫描的支点位于衍射的前焦面和后焦面上。